Four sous vide
Four à vide vertical 1100°C haute température, système de bride refroidie à l'eau avec chambre en quartz de 8 pouces
Numéro d'article: TU-QF02
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Présentation du produit
Ce système scellé sous vide vertical haute température représente le summum du traitement thermique pour la science des matériaux et la recherche sur les semi-conducteurs. Conçue pour faciliter les processus précis de recuit et de calcination, cette unité présente une orientation verticale spécialisée qui optimise l'espace tout en offrant un environnement thermique uniforme pour les substrats plus grands. L'équipement est construit autour d'une chambre en quartz robuste capable d'atteindre des températures de fonctionnement allant jusqu'à 1100°C sous pression ambiante, ce qui en fait un outil essentiel pour les laboratoires axés sur le développement de matériaux de haute pureté et de composants électroniques avancés.
Le système est spécifiquement conçu pour accueillir des plaquettes semi-conductrices jusqu'à 8 pouces de diamètre, offrant une plateforme polyvalente pour le traitement en environnement sous vide et les expériences sous atmosphère gazeuse contrôlée. En intégrant une bride d'étanchéité en acier inoxydable avec refroidissement par eau intégré, le système maintient l'intégrité structurelle et la longévité des joints, même lors de cycles prolongés à haute température. Cet équipement est le choix privilégié des centres de R&D industriels et des institutions académiques nécessitant une solution de traitement thermique fiable, reproductible et à haute capacité pour les substrats délicats.
Conçue pour la fiabilité dans des conditions industrielles exigeantes, cette unité de traitement thermique utilise un fil de résistance de haute qualité et des matériaux réfractaires avancés pour garantir des performances constantes. Chaque composant, du contrôleur numérique certifié NRTL au mécanisme d'étanchéité à double joint torique en silicone, est sélectionné pour offrir aux équipes d'approvisionnement et aux ingénieurs principaux une confiance totale dans la stabilité opérationnelle à long terme du système. Cette unité offre la robustesse requise pour les environnements de recherche 24h/24 et 7j/7 où la précision et la disponibilité sont des mesures critiques de succès.
Caractéristiques principales
- Chambre en quartz haute capacité : Le système dispose d'un tube en quartz GE214 de grand diamètre avec un diamètre extérieur de 8 pouces, spécifiquement dimensionné pour traiter des plaquettes semi-conductrices et des échantillons de matériaux en grands lots avec une clarté et une pureté inégalées.
- Bride d'étanchéité avancée refroidie par eau : Une chemise de refroidissement par eau intégrée protège l'assemblage d'étanchéité sous vide de la dégradation thermique, permettant à la bride en acier inoxydable de maintenir un joint hermétique à des températures dépassant 1100°C sans faire fondre les joints toriques en silicone.
- Contrôle de température PID de précision : Le contrôleur numérique certifié NRTL offre 30 segments programmables pour la montée en température, le refroidissement et le maintien, garantissant une précision de ±1°C pour les profils thermiques sensibles requis dans la fabrication de semi-conducteurs.
- Performance de vide supérieure : Conçue pour fonctionner de manière transparente avec des stations de pompage à haut vide, cette unité peut atteindre des niveaux de vide allant jusqu'à 10^-5 Torr lors de l'utilisation d'une turbopompe, essentiel pour les tâches de calcination et de recuit sensibles à l'oxygène.
- Conception robuste de l'élément chauffant : Utilisant un fil de résistance Ni-Cr-Al de haute qualité, le système offre des taux de chauffage rapides allant jusqu'à 20°C par minute tout en maintenant une excellente durabilité lors des cycles thermiques répétitifs.
- Sécurité et alarmes intégrées : L'équipement comprend des alarmes intégrées de surchauffe et de défaillance de thermocouple, offrant une protection automatisée à la fois pour le four et pour les matériaux précieux traités à l'intérieur.
- Gestion flexible de l'atmosphère : Équipé de vannes à pointeau de haute précision et de multiples ports d'entrée/sortie de gaz, le système permet l'introduction précise de gaz inertes ou réactifs pendant le processus de chauffage.
- Options de surveillance évolutives : L'unité comprend un manomètre à vide mécanique en standard, avec des options pour des manomètres numériques indépendants du gaz et des ports de communication PC pour l'enregistrement des données en temps réel et la surveillance à distance.
- Capacité de charge lourde : Conçue pour supporter jusqu'à 40 kg de poids de matériau, l'architecture de la chambre verticale est renforcée pour supporter des charges d'échantillons de qualité industrielle sans compromettre l'intégrité structurelle.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de plaquettes semi-conductrices | Traitement de plaquettes jusqu'à 8 pouces pour réparer les dommages du réseau après implantation ionique. | Le contrôle précis à ±1°C assure des caractéristiques électriques uniformes sur toute la surface de la plaquette. |
| Calcination de matériaux aérospatiaux | Oxydation et calcination à haute température de composites à matrice céramique sous vide. | Maintient une grande pureté via des environnements sans oxygène, évitant la contamination des alliages critiques. |
| Recherche sur le dépôt de couches minces | Préparation de substrats et traitement thermique post-dépôt pour cellules solaires avancées. | La grande chambre de 190 mm de diamètre intérieur permet d'accueillir plusieurs substrats simultanément pour des tests à haut débit. |
| R&D sur les batteries à l'état solide | Frittage d'électrolytes céramiques et de matériaux d'anode sous atmosphères gazeuses contrôlées. | Les systèmes d'entrée/sortie de gaz fiables permettent un contrôle exact de la composition chimique pendant le frittage. |
| Vieillissement des composants électroniques | Tests de contrainte de capteurs et de modules électroniques haute puissance dans des conditions thermiques extrêmes. | L'orientation verticale permet des configurations de montage et de fixation spécialisées qui minimisent la déformation des composants. |
| Dégazage sous vide | Élimination des gaz piégés dans des verres spéciaux ou des poudres métalliques avant la coulée. | La capacité de haut vide (10^-5 Torr) assure l'élimination complète des volatils pour une densité de matériau supérieure. |
Spécifications techniques
| Spécification | Détails pour TU-QF02 |
|---|---|
| Tension | Monophasé 208 - 240 VAC / 50/60Hz |
| Puissance maximale | 3 KW (disjoncteur 25 A installé) |
| Température de travail max. (ambiante) | < 1100°C |
| Température de travail max. (sous vide) | < 1000°C |
| Température max. optionnelle | 1150°C (avec tube en quartz GE214 amélioré) |
| Taux de chauffage | Recommandé : 10°C/min ; Max : < 20°C/min |
| Éléments chauffants | Fil de résistance Ni-Cr-Al |
| Dimensions du tube en quartz | Ø200 × Ø190 × H425 mm |
| Capacité de charge maximale | 40 Kg |
| Zone de chauffage efficace | Ø240 × H245 mm |
| Assemblage de bride | Acier inoxydable avec double joint torique en silicone haute température et chemise de refroidissement par eau |
| Gestion des gaz | Une entrée de gaz 1/4" et une sortie avec vannes à pointeau |
| Port de vide | Port KF25 intégré pour la connexion de la pompe |
| Niveau de vide (pompe mécanique) | 10^-2 Torr en 30 minutes (sans bloc thermique) |
| Niveau de vide (turbopompe) | 10^-5 Torr en 30 minutes (à 900°C avec bloc thermique en quartz) |
| Contrôleur de température | Contrôleur numérique PID à 30 segments, certifié NRTL |
| Précision de la température | ± 1 ºC (Standard) ; ± 0,1 ºC (Option Eurotherm) |
| Manomètre à vide | Manomètre mécanique (-0,1 à 0,15 Mpa) ; manomètre numérique en option |
| Conformité aux normes | Certifié CE (NRTL/CSA disponible sur demande) |
| Exigence de refroidissement | Débit d'eau de 16 L/min pour la protection de la bride |
| Communication | Port de communication PC DB9 par défaut inclus |
Pourquoi choisir le TU-QF02
- Conçu avec précision pour l'échelle : Contrairement aux fours de laboratoire standard, ce système offre une zone de traitement massive de 8 pouces de diamètre, permettant une transition directe de la R&D sur petits échantillons à la production pilote sans modifier les paramètres thermiques.
- Gestion thermique supérieure : L'intégration d'un système de bride refroidie par eau garantit que même aux températures maximales, l'intégrité de l'étanchéité reste intacte, prolongeant la durée de vie des consommables et réduisant considérablement les coûts de maintenance.
- Architecture de vide adaptable : Que vous ayez besoin de niveaux de vide mécaniques de base ou d'environnements à ultra-haut vide via des pompes turbomoléculaires, l'interface KF25 flexible du système et les vannes en acier inoxydable de haute qualité répondent à vos besoins de processus spécifiques.
- Sécurité et fiabilité certifiées : Avec des contrôleurs certifiés NRTL et la conformité CE, cet équipement répond aux normes de sécurité et de qualité strictes requises par la fabrication industrielle moderne et les installations de recherche de haut niveau.
- Options de contrôle personnalisables : Des contrôleurs de haute précision Eurotherm aux stations de mélange de gaz numériques, nous fournissons la modularité matérielle nécessaire pour adapter le système aux protocoles de traitement des matériaux spécialisés.
Notre équipe technique est prête à vous aider avec une configuration personnalisée ou un devis formel pour votre installation. Contactez-nous dès maintenant pour discuter de la façon dont ce système à vide vertical peut améliorer vos capacités de traitement thermique.
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