Four tubulaire
Four à tube compact à vide poussé 1200 °C avec système de pompe turbo intégré et zone de chauffe de 8 pouces
Numéro d'article: TU-41
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Aperçu du produit
Ce système de traitement thermique haute performance représente une solution complète et intégrée pour les chercheurs et les ingénieurs industriels nécessitant un contrôle précis de la température dans des conditions de très haut vide. Conçu comme une unité compacte adaptée à une utilisation sur paillasse, l’équipement associe un four tubulaire à haute température à un système de vide turbomoléculaire sophistiqué. Cette intégration permet d’atteindre des niveaux de vide aussi bas que 10^-5 torr, offrant un environnement pur pour les matériaux sensibles à l’oxygène, la recherche sur les couches minces et les procédés avancés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). En éliminant la complexité des ensembles de pompes externes, cette unité offre un flux de travail simplifié aux scientifiques des matériaux, tant dans le milieu universitaire que dans l’industrie.
Principalement utilisé dans la R&D en science des matériaux et dans les environnements de laboratoire pour semi-conducteurs, l’équipement constitue un pilier pour la synthèse de nouveaux nanomatériaux, la réalisation de réactions à l’état solide et le frittage de composants délicats. La zone de chauffe unique est optimisée pour l’uniformité, garantissant que les échantillons placés dans le tube en quartz de 60 mm bénéficient d’une distribution homogène de l’énergie thermique. Qu’il s’agisse d’un recuit de haute pureté ou de traitements thermiques complexes sous atmosphère contrôlée, ce système offre la stabilité et la reproductibilité nécessaires aux normes industrielles modernes.
La fiabilité est intégrée dans chaque composant de cette unité de traitement thermique. De la structure en acier à double paroi qui reste froide au toucher même à puissance maximale, à l’isolation en fibres d’alumine revêtue pour une durée de vie prolongée, chaque détail est axé sur la durabilité. Cet équipement est conçu pour résister aux exigences rigoureuses des cycles de recherche industriels 24 h/24 et 7 j/7, en maintenant l’intégrité du vide élevé et la précision de la température sur des milliers d’heures de fonctionnement. Cette attention portée à l’excellence de l’ingénierie permet aux équipes techniques de se concentrer sur leurs résultats plutôt que sur leur équipement.
Caractéristiques principales
- Système de pompe turbo intégré à vide poussé : Cet équipement est doté d’un système de pompe turbomoléculaire intégré, conçu en Allemagne, qui atteint des niveaux de vide ultimes jusqu’à 1 x 10^-5 torr, garantissant un environnement ultra-pur pour les procédés thermiques sensibles.
- Contrôle précis de la température PID : Un contrôleur microprocesseur avancé utilise une logique proportionnelle-intégrale-dérivée et une fonction d’auto-réglage pour maintenir une précision de ±1 °C, permettant 30 segments programmables de montée en température, de palier et de refroidissement.
- Protection thermique avancée à double couche : Le four est construit avec une coque en acier à double couche et des ventilateurs de refroidissement intégrés, maintenant la température de surface externe en dessous de 70 °C même lorsque la chambre interne atteint 1200 °C.
- Isolation en fibres d’alumine avec revêtement haute durabilité : La chambre de chauffe est doublée d’une isolation thermique en fibres d’alumine à haute efficacité, traitée en plus avec un revêtement d’alumine pour prévenir la dégradation et prolonger la durée de vie des matériaux réfractaires.
- Éléments chauffants de précision : L’unité utilise des éléments en alliage Fe-Cr-Al dopé au molybdène, spécialement sélectionnés pour leur stabilité à haute température et leur résistance à l’oxydation, garantissant des performances de chauffe constantes sur la zone de 8 pouces.
- Étanchéité sous vide et brides hermétiques : Équipé d’un ensemble complet de brides sous vide de 60 mm de diamètre extérieur avec raccords cannelés de 1/4", de vannes à aiguille et d’une traversée rapide pour thermocouple, le système assure une gestion facile des gaz et une étanchéité fiable.
- Protocoles de sécurité complets : Des protections intégrées, notamment la protection contre la surtempérature et la défaillance du thermocouple, coupent automatiquement les éléments chauffants afin d’éviter tout dommage et d’assurer la sécurité de l’opérateur lors des cycles sans surveillance.
- Capacités de gestion des données améliorées : Le contrôleur comprend un port de communication PC DB9, prenant en charge un logiciel optionnel basé sur LabVIEW (MTS01) permettant l’édition à distance des profils, l’enregistrement des données et la gestion en temps réel des recettes de traitement thermique.
- Performances de chauffe modulaires : La conception interchangeable du module de chauffe permet une maintenance flexible et d’éventuelles mises à niveau futures, offrant une solution économique pour une utilisation en laboratoire à long terme.
- Blocs thermiques optimisés : Le système comprend une paire de blocs thermiques en céramique fibreuse conçus pour limiter la dissipation de chaleur de la zone de chauffe active, protégeant les brides de refroidissement et améliorant l’efficacité énergétique globale.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Dépôt chimique en phase vapeur de couches minces et de revêtements spécialisés sur des substrats. | L’intégrité du vide élevé garantit la pureté du dépôt et la qualité cristalline. |
| R&D semi-conducteurs | Traitement de wafers en silicium, de semi-conducteurs composés et de composants électroniques. | Traitement thermique rapide avec contrôle précis de la concentration en oxygène. |
| Synthèse de nanotubes de carbone | Croissance à haute température de CNT et d’autres nanomatériaux à base de carbone. | Une excellente uniformité de température se traduit par un diamètre de fibre et des rendements constants. |
| Recuit sous vide | Traitement thermique de relaxation des contraintes pour les métaux et les céramiques dans un environnement sans oxygène. | Empêche l’oxydation de surface et la formation de calamine, tout en préservant l’intégrité de la surface du matériau. |
| Dépôt de couches minces | Évaporation ou traitement thermique de couches minces fonctionnelles sous vide poussé. | La pompe turbo intégrée fournit l’environnement basse pression nécessaire sans contamination. |
| Synthèse à l’état solide | Mélange et réaction de précurseurs solides à haute température pour former de nouveaux composés. | Le contrôle programmable sur 30 segments permet des cycles de réaction complexes en plusieurs étapes. |
| Recherche sur les matériaux de batteries | Traitement thermique des matériaux de cathode et d’anode pour les batteries à haute densité énergétique. | L’environnement contrôlé empêche les réactions chimiques indésirables pendant la synthèse. |
| Frittage de céramiques | Frittage de haute pureté de céramiques avancées, oxydes et non-oxydes. | Le contrôle PID de précision évite les chocs thermiques et favorise une croissance uniforme des grains. |
Spécifications techniques
| Groupe de paramètres | Caractéristique | Valeur pour TU-41 |
|---|---|---|
| Alimentation électrique | Options de tension | 120 VAC (20 A) ou 208 - 240 VAC (10 A) |
| Fréquence | 50/60 Hz, monophasé | |
| Consommation électrique totale | 1,2 kW | |
| Performance thermique | Température maximale | ≤1200 °C (durée < 1 heure) |
| Température de fonctionnement continu | ≤1100 °C | |
| Température de surface sous vide | ≤1000 °C (sous vide poussé) | |
| Vitesse de chauffe maximale | ≤ 20 °C/min | |
| Caractéristiques de la zone de chauffe | Longueur de la zone de chauffe | 8" (200 mm), zone unique |
| Zone de température constante | 2,3" (60 mm) (±2 °C) à 600 °C | |
| Éléments chauffants | Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo | |
| Système de vide | Type de pompe intégrée | Système de pompe turbomoléculaire (fabriqué en Allemagne) |
| Niveau de vide ultime | 10^-6 torr (tube) / 7,5 x 10^-5 hPa (unité de pompe) | |
| Raccord de connexion | Collier KF40 sur la bride droite | |
| Surveillance | Manomètre mécanique à vide sur la bride | |
| Tube & chambre | Matériau du tube | Quartz de haute pureté |
| Dimensions du tube | 60 mm DE x 55 mm DI x 600 mm L | |
| Matériau d’isolation | Fibres d’alumine avec revêtement protecteur | |
| Système de commande | Type de contrôleur | PID numérique avec programmation sur 30 segments |
| Précision | ± 1 °C | |
| Thermocouple | Type K (TCK8S3B) | |
| Communication des données | Port PC DB9 (logiciel MTS01 en option) | |
| Matériel & brides | Entrées/sorties de gaz | Raccords cannelés de 1/4" avec vanne à aiguille |
| Étanchéité | Joints toriques haute température sur ensemble de brides de 60 mm DE | |
| Traversée | Connexion rapide 1/4" pour thermocouple | |
| Conformité | Certification | Certifié CE (NRTL/CSA disponibles sur demande) |
Pourquoi choisir le TU-41
- Conception intégrée supérieure : Contrairement aux systèmes nécessitant des pompes externes séparées, cette unité intègre les systèmes de vide et thermique dans un encombrement unique à haute efficacité, économisant de l’espace au laboratoire et réduisant la complexité d’installation.
- Performance de vide de qualité industrielle : L’utilisation d’une pompe turbomoléculaire fabriquée en Allemagne permet à ce système d’atteindre des niveaux de vide 100 fois plus profonds que les pompes mécaniques standard, le rendant adapté à la recherche sur des matériaux de haute pureté.
- Fiabilité conçue avec précision : Des éléments chauffants dopés au Mo à l’isolation revêtue d’alumine liquide, chaque composant est sélectionné pour un temps de fonctionnement maximal et des performances constantes dans des cycles de R&D exigeants.
- Profilage thermique flexible : Le contrôleur PID sur 30 segments fournit la finesse requise pour la synthèse de matériaux complexes, garantissant un contrôle précis des vitesses de refroidissement et de chauffe afin d’éviter toute défaillance du matériau.
- Support et qualité complets : En tant que produit certifié CE avec mises à niveau NRTL disponibles, cet équipement répond aux normes internationales les plus strictes en matière de sécurité et d’excellence opérationnelle, avec l’appui du support technique expert de THERMUNITS.
Notre équipe d’ingénierie est prête à vous aider avec une configuration personnalisée ou un devis formel pour ce système de vide haute performance ; veuillez nous contacter dès aujourd’hui pour discuter de vos besoins spécifiques en matière de traitement thermique.
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