Four tubulaire
Four à Tube Vertical Ouvrable 0-1700°C Système de Laboratoire Haute Température pour CVD et Traitement Thermique sous Vide
Numéro d'article: TU-21
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Aperçu du Produit
Cet équipement expérimental haute température représente l'apogée de l'ingénierie thermique, spécifiquement conçu pour la recherche, le développement et la validation de procédés matériaux rigoureux. En intégrant le chauffage à haute température, un contrôle sophistiqué de l'atmosphère sous vide et des capacités de traitement thermique rapide, l'équipement sert de plateforme polyvalente pour les environnements de laboratoire les plus exigeants. La structure verticale ouvrable est conçue pour une accessibilité et une flexibilité maximales, permettant aux chercheurs de passer sans heurt du frittage de matériaux de base à la déposition chimique en phase vapeur (CVD) complexe ou au recuit sous vide. Construit avec une robustesse industrielle, cette unité offre la précision requise par les scientifiques des matériaux dans les laboratoires universitaires, les centres de R&D des semi-conducteurs et la fabrication aérospatiale. Elle reflète un engagement envers l'excellence technique, garantissant que chaque cycle thermique est cohérent, reproductible et sûr, même lors d'un fonctionnement à des températures allant jusqu'à 1700°C sous vide poussé ou dans des atmosphères gazeuses spécialisées.
Caractéristiques Clés
- Architecture Verticale Ouvrable : Le corps du four est conçu pour se séparer verticalement, offrant un accès à 180 degrés au tube de réaction pour un chargement facile, la maintenance et l'intégration de capteurs de surveillance internes ou de modules de trempe.
- Chauffage de Précision à Trois Zones : Une programmation multi-étapes avancée grâce à la régulation indépendante de trois zones de température distinctes assure une large région à température constante avec une compensation thermique optimisée pour une uniformité de ±1,5°C.
- Isolation en Alumine Haute Pureté : La chambre utilise de la fibre polycristalline d'alumine haute pureté grade 1700, un matériau sélectionné pour sa capacité thermique exceptionnellement faible et sa résistance supérieure aux chocs thermiques, garantissant un chauffage rapide et une efficacité énergétique.
- Éléments Chauffants MoSi2 Avancés : Équipé de barres de silicium-molybdène haute densité, le système de chauffage est capable d'un fonctionnement soutenu à des températures extrêmes, avec des options de mise à niveau disponibles pour les environnements nécessitant jusqu'à 1800°C.
- Système de Refroidissement Rapide Intégré : Un système de circulation de refroidissement par air intégré et des brides de refroidissement à eau en option facilitent une chute thermique à haute vitesse, permettant aux échantillons de subir un traitement de trempe en moins de 10 secondes pour les études de changement de phase.
- Étanchéité sous Vide Sophistiquée : L'équipement dispose d'un système d'étanchéité double O-type en caoutchouc fluoré et de brides refroidies à l'eau, atteignant un taux de fuite sous vide ≤5×10⁻⁴ Pa-m³/s lorsqu'il est couplé à des unités de pompe moléculaire haute performance.
- Logique de Contrôle PID Intelligent : Utilisant une instrumentation premium japonaise Shimaden ou européenne Continental, le système prend en charge une programmation à 50 segments, une communication RS485 et le stockage de multiples profils de procédés prédéfinis.
- Suite de Gestion de l'Atmosphère : Un système de débitmètre massique double voie avec électrovannes haute précision et régulateurs de pression permet l'introduction contrôlée de gaz inertes ou réactifs, y compris l'hydrogène.
- Verrouillages de Sécurité Complets : Le système est protégé par plusieurs couches de sécurité, incluant une coupure automatique en surtempérature, des alarmes de thermocouple rompu, une surveillance de la pression d'eau et des soupapes de décharge de pression d'urgence.
- Compatibilité d'Extension Modulaire : Conçu pour la polyvalence, la plateforme prend en charge des modules externes tels que des plateaux d'échantillons rotatifs, des thermomètres infrarouges et des analyseurs de gaz pour s'adapter aux besoins de recherche évolutifs.
Applications
| Application | Description | Avantage Clé |
|---|---|---|
| CVD pour Semi-conducteurs | Déposition de couches minces et de nanomatériaux sur des substrats de silicium ou de saphir en utilisant des précurseurs en phase vapeur. | Le contrôle précis du débit de gaz et de la température assure une épaisseur de film uniforme et une haute pureté. |
| Céramiques Aérospatiales | Frittage à haute température et tests de contraintes de composites à matrice céramique (CMC) et de composants de turbine. | L'orientation verticale accueille de longues pièces structurelles tout en maintenant une stabilité thermique extrême. |
| R&D Batteries Lithium | Calcination et synthèse de matériaux de cathode/anode sous atmosphères contrôlées d'azote ou d'argon. | La haute reproductibilité des cycles thermiques conduit à des données de performance électrochimique cohérentes. |
| Recuit sous Vide | Relaxation des contraintes et affinement de la structure des grains des métaux réfractaires et alliages spéciaux dans des environnements sans oxygène. | Empêche l'oxydation et la contamination, préservant l'intégrité métallurgique de l'échantillon. |
| Trempe Rapide | Test des propriétés des matériaux après des chutes de température soudaines pour simuler les processus de refroidissement industriels. | Permet l'étude des phases hors équilibre et du développement de la microstructure en quelques secondes. |
| Éclairage à l'État Solide | Synthèse de phosphores et de cristaux optiques nécessitant des environnements thermiques de haute pureté. | La chambre en alumine propre prévient la contamination croisée des dopants et assure un rendement lumineux élevé. |
| Croissance de Nanotubes de Carbone | Croissance verticale de forêts de CNT et de structures de graphène via déposition chimique en phase vapeur. | Les gradients thermiques optimisés dans la zone de croissance offrent un alignement et une densité supérieurs. |
Spécifications Techniques
| Catégorie de Paramètre | Détails des Spécifications pour TU-21 |
|---|---|
| Température de Fonctionnement Maximale | 1700°C (Éléments Chauffants MoSi2) ; Option 1800°C (Graphite/SiC) |
| Vitesse de Chauffage | Maximum ≤15°C/min ; Recommandée ≤10°C/min |
| Vitesse de Refroidissement | Maximum ≤10°C/min ; Le module de trempe atteint une chute ≤10s |
| Uniformité de Température | ±1,5°C (Dans la zone à température constante de 150mm) |
| Contrôle de Température | Shimaden FP93 Japon / Continental 3504 ; 50 segments ; PID Auto-réglage |
| Matériau de la Chambre du Four | Fibre polycristalline d'alumine haute pureté grade 1700 |
| Taille de Tube Standard | Tube Corindon (Diamètre Extérieur Φ60mm × Longueur 1200mm) |
| Options de Matériau de Tube | Quartz, Acier Inoxydable, ou Tubes Réfractaires Sur Mesure (Φ30-100mm) |
| Résistance à la Pression | ≤ 0,1MPa (Vide/Pression Positive) |
| Performance sous Vide | Pompe Mécanique : 5×10⁻² Pa ; Pompe Moléculaire : 5×10⁻⁴ Pa |
| Interface d'Étanchéité | Double O-type Caoutchouc Fluoré (rated 250°C) + Bride KF25 |
| Système de Contrôle des Gaz | Débitmètre Massique Double Voie (0-500sccm) ; Précision ±1% |
| Configuration Électrique | Prise en charge de la personnalisation de tension 220V/380V |
| Conception Structurelle | Coque en acier inoxydable verticale double couche avec refroidissement par air intégré |
| Protection de Sécurité | Coupure surtempérature, thermocouple rompu, alarmes pression eau/gaz, disjoncteur de fuite |
| Dimensions Externes | Empreinte verticale avec roues mobiles et pieds de réglage horizontaux |
Pourquoi Nous Choisir
- Fiabilité à Long Terme Éprouvée : Construit avec des composants de qualité industrielle et une coque double couche, ce four est conçu pour un fonctionnement continu dans des environnements de recherche à haut risque sans dégradation des performances.
- Précision Thermique Exceptionnelle : La technologie de compensation indépendante à trois zones offre un niveau d'uniformité et de stabilité de température critique pour le succès des procédés CVD et de frittage sensibles.
- Flexibilité Modulaire Inégalée : Que vous ayez besoin d'un vide poussé, de circuits de gaz spécialisés ou de plateaux d'échantillons rotatifs, ce système est conçu pour évoluer avec vos besoins de recherche grâce à son interface modulaire.
- Normes de Sécurité Rigoureuses : De la manipulation de l'hydrogène à la décharge haute pression, le système intègre des mécanismes de sécurité redondants pour protéger votre personnel de laboratoire et vos matériaux de haute valeur.
- Fabrication de Précision : Chaque unité subit un calibrage rigoureux et des tests de fuite sous vide pour s'assurer qu'elle répond à nos normes exigeantes de robustesse industrielle et d'excellence technique.
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