Four tubulaire
Four tubulaire divisé à sept zones haute température avec fonctionnement maximal à 1200°C et tube en quartz de grand diamètre
Numéro d'article: TU-87
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Présentation du produit
Ce système de traitement thermique haute performance est conçu pour les environnements de recherche à l'échelle industrielle et de production pilote où des gradients de température précis et des volumes de chauffe étendus sont essentiels. En utilisant une architecture de chauffage unique à sept zones, l'équipement permet de créer une zone de température uniforme exceptionnellement longue et stable, ce qui le rend idéal pour la synthèse de matériaux en grands lots, le traitement des semi-conducteurs et les applications complexes de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). La conception divisée offre un accès inégalé à la chambre de traitement, facilitant l'installation aisée d'échantillons lourds ou délicats dans un environnement de haute pureté.
Le système est conçu pour la polyvalence, prenant en charge des niveaux de vide de 10-2 à 10-5 torr et diverses atmosphères gazeuses. Il constitue une pierre angulaire pour les laboratoires de science des matériaux avancés, les départements de métallurgie et les installations de fabrication de haute technologie qui exigent des résultats cohérents et reproductibles sur de grandes zones de traitement. Qu'il soit utilisé pour des processus de recuit, de frittage ou de revêtement, cet appareil offre la stabilité thermique requise par les normes modernes d'ingénierie des matériaux.
La fiabilité est au cœur de la construction de ce four. Doté d'un boîtier en acier à double paroi avec refroidissement par ventilateur actif et isolation en alumine fibreuse de haute pureté, l'équipement maintient des températures extérieures basses tout en garantissant une efficacité énergétique maximale. L'inclusion de couvercles supérieurs actionnés par vérins électriques assure un fonctionnement fluide et sûr, même dans des environnements industriels à haut débit, permettant aux opérateurs de gérer des cycles thermiques exigeants sans compromettre la sécurité ou l'intégrité des performances.
Caractéristiques principales
- Contrôle indépendant de la température à sept zones : Ce système utilise sept zones de chauffage distinctes, chacune contrôlée par son propre régulateur PID numérique dédié, permettant une gestion précise des gradients thermiques ou le maintien d'une zone de température uniforme massive de 1350 mm à ±2ºC près.
- Conception divisée à vérins électriques : Le couvercle supérieur divisé est actionné par des vérins électriques robustes, assurant une ouverture et une fermeture fluides et automatisées. Cette conception permet un refroidissement rapide, un remplacement facile du tube et un chargement simplifié des échantillons sans levage manuel.
- Éléments chauffants de précision : Des éléments thermiques haute performance sont stratégiquement positionnés dans les sept zones pour fournir des taux de chauffage rapides allant jusqu'à 10°C/min et une température de fonctionnement maximale de 1200°C pour les processus à court terme.
- Contrôle atmosphérique avancé : Équipé d'un tube en quartz de 8 pouces de diamètre intérieur et de brides à vide en acier inoxydable dotées de doubles joints toriques en silicone haute température, le système assure une étanchéité parfaite pour les processus sous vide ou sous gaz inerte.
- Chemise de refroidissement à eau intégrée : Les brides à vide comprennent une chemise de refroidissement à eau intégrée pour protéger les joints toriques d'étanchéité et l'instrumentation de l'exposition aux hautes températures, garantissant l'intégrité des joints à long terme lors d'un fonctionnement continu.
- Isolation thermique supérieure : Utilisant une isolation en alumine fibreuse de haute pureté économe en énergie, le four minimise les pertes de chaleur et améliore les temps de montée en température tout en maintenant la température extérieure du boîtier en dessous de 70°C.
- Systèmes de sécurité complets : La protection intégrée contre la surchauffe et les thermocouples défectueux, ainsi qu'une alarme de dépassement de température, permettent un fonctionnement sûr et sans surveillance lors de cycles thermiques de longue durée.
- Architecture à double ventilateur de refroidissement : Une structure de boîtier en acier à double couche combinée à deux ventilateurs de refroidissement à haute vitesse assure une dissipation thermique efficace, prolongeant la durée de vie des composants électroniques internes.
- Communication numérique et logiciel : Les ports de communication RS485 intégrés permettent un contrôle et une surveillance basés sur PC, permettant à l'utilisateur d'enregistrer, de charger et d'analyser des profils de chauffage complexes à 30 segments à distance.
- Compatibilité polyvalente des matériaux : Le tube en quartz de grand diamètre et les types de tampons thermiques inclus sont optimisés pour une grande variété de creusets, de supports de plaquettes et de systèmes de transport de matériaux.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de plaquettes de semi-conducteurs | Traitement haute température de grandes plaquettes de silicium ou de semi-conducteurs composés sous atmosphères contrôlées. | Une uniformité exceptionnelle sur tout le lot de plaquettes réduit les taux de défauts. |
| Mise à l'échelle CVD & PECVD | Synthèse de matériaux 2D, de nanotubes de carbone ou de couches minces sur de grandes surfaces de substrat. | Le contrôle à sept zones permet une décomposition précise des précurseurs et des gradients de dépôt. |
| Frittage de céramiques avancées | Consolidation de poudres céramiques haute performance en composants structurels denses. | L'isolation en alumine de haute pureté évite la contamination et garantit l'intégrité du matériau. |
| Recherche sur les matériaux de batterie | Calcination et synthèse de matériaux de cathode ou d'anode pour le stockage d'énergie de nouvelle génération. | Un contrôle fiable du vide et des gaz permet des réactions redox stables pendant le traitement. |
| Métallurgie & Développement d'alliages | Traitement thermique et relaxation des contraintes de composants en alliages spécialisés sous atmosphères protectrices. | Le grand diamètre du tube permet d'accueillir des pièces industrielles complexes et des montages spécialisés. |
| Carbonisation de fibre de carbone | Traitement continu ou par lots de précurseurs de fibres à des températures élevées pour obtenir une résistance à la traction élevée. | La longue zone de chauffe assure un historique thermique cohérent sur toute la longueur de la fibre. |
| Synthèse d'électrolytes solides | Réaction à haute température de poudres pour former des couches d'électrolyte denses pour les batteries à l'état solide. | La programmation précise à 30 segments permet des cycles de réaction complexes en plusieurs étapes. |
Spécifications techniques
| Paramètre | Spécifications pour TU-87 |
|---|---|
| Numéro de modèle | TU-87 |
| Structure du four | Boîtier en acier à double couche avec deux ventilateurs de refroidissement ; couvercle supérieur divisé actionné par vérins électriques |
| Isolation | Alumine fibreuse de haute pureté avec blocs thermiques tampons inclus |
| Température max. | 1200°C |
| Température continue | 1100°C (sous pression atmosphérique) ; < 1000°C (sous vide) |
| Longueur de la zone de chauffe | Total 2100 mm (82,6") ; 7 zones mesurant chacune 300 mm (11,8") |
| Longueur de la zone uniforme | 1350 mm à ± 2ºC |
| Taux de chauffage | Max 10°C/min |
| Dimensions du tube | Quartz fondu ; 216 mm OD x 206 mm ID x 2500 mm L (8,5" x 8,1" x 60") |
| Brides à vide | SS 304 avec doubles joints toriques en silicone et chemise de refroidissement à eau |
| Contrôle atmosphérique | Deux vannes à pointeau pour l'entrée/sortie de gaz ; un manomètre à vide/pression inclus |
| Niveau de vide | 10-2 torr (pompe mécanique) ; 10-5 torr (turbopompe) |
| Contrôleurs de température | 7x contrôleurs PID numériques ; 30 segments programmables ; certifié MET/CE |
| Précision de la température | ± 1 ºC (± 0,1 ºC avec mise à niveau optionnelle Eurotherm) |
| Puissance d'entrée | Triphasé 460VAC, 50/60 Hz |
| Consommation électrique | 50 kW Max (disjoncteur de 70 A requis) |
| Conformité | Certifié CE ; NRTL (UL61010) ou CSA disponible sur demande |
Pourquoi choisir le four tubulaire divisé à sept zones haute température
- Uniformité thermique inégalée : L'architecture à sept zones offre la plus longue zone de chauffe stable de sa catégorie, garantissant que les échantillons industriels à grande échelle subissent des conditions thermiques identiques d'un bout à l'autre.
- Robustesse de qualité industrielle : Conçu pour un fonctionnement continu, ce système présente une construction en acier de qualité supérieure, un refroidissement avancé et une électronique PID de haute qualité certifiée selon les normes internationales.
- Intégrité du vide de précision : Nos brides en acier inoxydable spécialisées et nos tubes en quartz de haute pureté permettent aux chercheurs de maintenir des environnements ultra-propres, essentiels pour les applications sensibles dans les semi-conducteurs et l'aérospatiale.
- Automatisation avancée des processus : Avec une programmation à 30 segments et une intégration logicielle optionnelle, les cycles thermiques complexes sont facilement automatisés, réduisant les erreurs de l'opérateur et augmentant le débit.
- Personnalisation flexible : Des mises à niveau des contrôleurs Eurotherm aux systèmes de distribution de gaz personnalisés, nous offrons la flexibilité nécessaire pour adapter ce four à vos besoins spécifiques de recherche ou de production.
Notre équipe d'ingénieurs est prête à vous aider à configurer la solution thermique idéale pour votre laboratoire ou votre ligne de production. Contactez-nous dès aujourd'hui pour une consultation technique ou pour demander un devis formel.
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