Four tubulaire sous vide à double zone haute température pour la recherche sur les matériaux et les procédés CVD

Four tubulaire

Four tubulaire sous vide à double zone haute température pour la recherche sur les matériaux et les procédés CVD

Numéro d'article: TU-GS03

Température de fonctionnement maximale: Zone 1 : 1700°C / Zone 2 : 1400°C Précision du contrôle de la température: ±1°C (PID programmable à 30 segments) Degré de vide ultime: Jusqu'à 10-3 Pa (système de pompe moléculaire)
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Présentation du produit

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Ce four tubulaire sous vide à double zone haute température représente le summum de l'ingénierie thermique, conçu pour faciliter la recherche sophistiquée en science des matériaux et la R&D industrielle. En intégrant deux zones de chauffage distinctes au sein d'un seul tube horizontal, le système permet la création de gradients de température complexes ou le maintien simultané de deux environnements thermiques séparés. Cette double capacité est essentielle pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le frittage sous atmosphère contrôlée et les cycles de recuit complexes où la précision et la flexibilité sont primordiales. L'équipement est conçu pour offrir une efficacité thermique élevée et un champ de température à l'équilibre, garantissant que chaque spécimen subit un traitement cohérent et reproductible.

Conçue pour les environnements de laboratoire exigeants, l'unité utilise une combinaison d'éléments chauffants avancés, spécifiquement des tiges en disiliciure de molybdène (MoSi2) et en carbure de silicium (SiC), pour atteindre des températures élevées avec une stabilité exceptionnelle. La structure à double paroi minimise la perte de chaleur vers l'environnement extérieur, maintenant une température de surface basse pour la sécurité de l'opérateur tout en améliorant l'efficacité énergétique. Les industries cibles comprennent la fabrication de semi-conducteurs, les céramiques avancées, la métallurgie aérospatiale et les instituts de recherche universitaires. Ce système est conçu pour fournir un service fiable sous un fonctionnement continu à haute température, donnant aux chercheurs la confiance nécessaire pour exécuter des expériences de longue durée sans défaillance matérielle.

Cet équipement n'est pas seulement un four, mais une solution complète de traitement thermique. Avec un contrôle logiciel intégré, une gestion sophistiquée du vide et des fonctions de sécurité multicouches, il constitue une plateforme robuste pour la synthèse moderne des matériaux. Qu'il s'agisse d'effectuer un recuit sous vide ou des processus de réduction à haute température, l'unité maintient une adhésion stricte aux profils thermiques définis. L'intégration d'une isolation en fibre polycristalline d'alumine de haute pureté assure une réponse thermique rapide et une résistance aux chocs thermiques, positionnant ce four comme un atout essentiel pour les laboratoires qui exigent un débit élevé et une précision sans compromis dans leurs protocoles de traitement thermique.

Caractéristiques principales

  • Contrôle indépendant à double zone : Ce système dispose de deux zones de chauffage séparées qui peuvent être contrôlées indépendamment. Cela permet aux utilisateurs de régler des températures distinctes dans chaque zone, facilitant les expériences de gradient thermique complexes ou fournissant une zone de température constante plus grande et plus stable lorsqu'elles sont synchronisées.
  • Éléments chauffants hybrides avancés : La première zone utilise des tiges en disiliciure de molybdène (MoSi2) de qualité 1800, tandis que la seconde zone intègre des tiges robustes en carbure de silicium (SiC). Cette approche hybride optimise le profil de chauffage et la longévité du four sur un large spectre de températures.
  • Gestion précise de la température PID : Équipé d'instruments numériques avancés, le four offre un contrôle programmable sur 30 segments. Il dispose d'un réglage PID intelligent avec une précision de ±1°C, garantissant que même les processus industriels les plus sensibles restent dans des tolérances strictes.
  • Étanchéité sous vide haute performance : Le tube du four est fixé avec des brides en acier inoxydable dotées de joints toriques en silicone à double couche. Cette conception rétractable et facile à retirer assure une étanchéité à l'air exceptionnelle, capable de maintenir les niveaux de vide pendant 12 heures sans perte de pression mesurable.
  • Technologie d'isolation supérieure : La chambre est construite en fibre polycristalline d'alumine de haute qualité. Ce matériau est choisi pour sa réflectivité élevée, sa faible conductivité thermique et sa résistance à la pulvérisation, ce qui se traduit par un champ de température équilibré et une consommation d'énergie considérablement réduite.
  • Intégration logicielle complète : Une interface de communication 485 intégrée permet un fonctionnement à distance via un ordinateur. Le logiciel inclus permet la surveillance en temps réel de la valeur de processus (PV) et de la valeur de consigne (SV), l'enregistrement des données et la génération de courbes thermiques pour une documentation méticuleuse des paramètres expérimentaux.
  • Protection de sécurité à plusieurs niveaux : L'unité comprend un système de protection par ouverture de couvercle qui coupe automatiquement l'alimentation lorsque le four est ouvert, ainsi qu'une protection contre les fuites et des alarmes de surchauffe qui déconnectent le circuit principal si la température dépasse 1200°C ou si une défaillance du thermocouple est détectée.
  • Interface d'alimentation en gaz personnalisable : Les brides en acier inoxydable sont équipées de vannes à pointeau de précision et de manomètres. Les utilisateurs peuvent facilement intégrer des débitmètres à flotteur ou des régulateurs de débit massique numériques pour un contrôle précis de l'atmosphère pendant les tests de frittage ou de réduction.
  • Système de support de bride robuste : Un support à bride dédié soutient l'assemblage, éliminant efficacement les contraintes mécaniques sur le tube en corindon. Ce détail d'ingénierie prolonge considérablement la durée de vie du tube en empêchant les fractures causées par le poids important des brides.
  • Cyclage thermique rapide : Avec une vitesse de chauffage allant jusqu'à 20°C par minute (10°C/min recommandé), l'équipement permet un démarrage et un refroidissement rapides, augmentant la productivité du laboratoire et permettant une exploration rapide des propriétés thermiques des matériaux.

Applications

Application Description Avantage clé
Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) Utilisé pour la croissance de films minces et de nanotubes de haute qualité sous flux de gaz contrôlé et vide. Environnement de haute pureté et contrôle de température à double zone assurant un dépôt de film uniforme.
Recuit sous vide Détente des métaux et alliages sous vide pour éviter l'oxydation et améliorer les propriétés mécaniques. Une étanchéité supérieure préserve l'intégrité du matériau et empêche la contamination de surface.
Frittage sous atmosphère Consolidation à haute température de poudres de céramique ou de métal dans des gaz inertes ou réducteurs. Des champs de température à l'équilibre conduisent à une densité plus élevée et une microstructure plus uniforme.
Synthèse de matériaux Découverte de nouveaux composés grâce à un cyclage thermique précis et une gestion de la réaction. La programmation sur 30 segments permet des protocoles de réaction complexes et multi-étapes.
Processus de dégazage Élimination des composants volatils ou des gaz piégés dans les matériaux sous forte chaleur et vide. La capacité de vide poussé (10-3 Pa) assure une élimination complète des impuretés.
Tests de réduction Tests de matériaux dans un environnement d'hydrogène ou de monoxyde de carbone pour observer les changements chimiques. Les soupapes de sécurité intégrées et les interfaces de débit massique permettent une gestion sûre et précise des gaz.
R&D aérospatiale Tests de revêtements et de composants résistants aux hautes températures pour le matériel aérospatial. Des performances fiables à des températures allant jusqu'à 1700°C simulent des conditions de vol extrêmes.

Spécifications techniques

Paramètre TU-GS03-60 TU-GS03-80
Taille de la chambre (DE x Longueur) Dia 60mm x 1200mm Dia 80mm x 1200mm
Puissance nominale 7 KW 7 KW
Tension d'entrée 220V, Monophasé 220V, Monophasé
Temp. de fonctionnement max. Zone 1 : 1700°C / Zone 2 : 1400°C Zone 1 : 1700°C / Zone 2 : 1400°C
Temp. constante nominale Zone 1 : 1650°C / Zone 2 : 1350°C Zone 1 : 1650°C / Zone 2 : 1350°C
Longueur de chauffage (Z1/Z2) 210mm / 210mm 210mm / 210mm
Zone de température constante 80mm / 80mm 80mm / 80mm
Éléments chauffants Z1 : Tige MoSi2 1800 / Z2 : Tige SiC Z1 : Tige MoSi2 1800 / Z2 : Tige SiC
Précision de la température ± 1 ℃ ± 1 ℃
Vitesse de chauffage ≤20 ℃/Min (Recommandé 10 ℃) ≤20 ℃/Min (Recommandé 10 ℃)
Type de thermocouple Zone 1 : Type B / Zone 2 : Type S Zone 1 : Type B / Zone 2 : Type S
Matériau de la chambre Fibre polycristalline d'alumine Fibre polycristalline d'alumine
Instrument de contrôle Yu Electric PID 30 segments Yu Electric PID 30 segments
Options de vide Standard : TW-1.5A / Élevé : 2XZ-2 Standard : TW-1.5A / Élevé : 2XZ-2
Niveau de vide ultime 10-1 Pa à 10-3 Pa (selon le système) 10-1 Pa à 10-3 Pa (selon le système)
Type de déclenchement Déclenchement à déphasage Déclenchement à déphasage
Contrôle par thyristor 106/16E SEMIKRON 106/16E SEMIKRON
Température de surface ≤ 45°C ≤ 45°C
Connectivité Interface RS-485 (Standard) Interface RS-485 (Standard)

Pourquoi choisir ce système à double zone

  • Polyvalence thermique inégalée : En combinant des zones haute température de 1700°C et 1400°C, ce four permet des réactions à double étage et un frittage par gradient que les fours à zone unique ne peuvent atteindre, offrant un avantage significatif dans la recherche avancée sur les matériaux.
  • Fiabilité de qualité industrielle : Des thyristors SEMIKRON à l'isolation polycristalline de haute pureté, chaque composant est sélectionné pour sa capacité à supporter des cycles de service continus dans des environnements de laboratoire professionnels.
  • Intégrité du vide conçue avec précision : Notre technologie exclusive de joint à double anneau et nos supports de bride en acier inoxydable garantissent un environnement étanche au vide qui protège vos échantillons et assure la pureté de vos processus sensibles à l'atmosphère.
  • Sécurité et surveillance avancées : Avec un logiciel intégré pour le suivi en temps réel et de multiples protocoles d'arrêt automatique, votre laboratoire peut fonctionner avec la tranquillité d'esprit que les utilisateurs et les expériences sont protégés.
  • Excellence des performances prouvée : Nos systèmes sont approuvés par les plus grandes universités mondiales et les centres de recherche industrielle pour leur cohérence, leur efficacité énergétique et leur durabilité à long terme.

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