Four tubulaire
Four tubulaire à deux zones 1100°C avec tube en quartz de 11 pouces et brides à vide pour le traitement de plaquettes de 8 pouces
Numéro d'article: TU-32
Livraison: Contactez-nous pour obtenir les détails d'expédition. Profitez-en Garantie d'expédition dans les délais.
Présentation du produit
Ce four tubulaire à deux zones haute performance est un système de traitement thermique sophistiqué conçu pour la recherche avancée sur les matériaux et la R&D industrielle. Doté d'un tube en quartz fondu de 11 pouces de diamètre extérieur exceptionnellement large, l'équipement offre un environnement de chauffage spacieux adapté aux échantillons de grande taille et aux plaquettes de semi-conducteurs jusqu'à 8 pouces de diamètre. La configuration à deux zones permet de créer des gradients thermiques précis ou une zone de température constante plus large, offrant aux chercheurs une flexibilité inégalée dans la gestion de profils de traitement thermique complexes. En intégrant une isolation fibreuse en alumine de haute pureté, ce système assure une efficacité énergétique maximale et des temps de réponse thermique rapides.
L'équipement est spécifiquement conçu pour les applications de haute pureté, y compris le frittage de nouveaux échantillons de matériaux et le recuit de plaquettes de semi-conducteurs sous vide ou sous atmosphères gazeuses contrôlées. Les industries cibles vont de la fabrication de semi-conducteurs et de la métallurgie à la nanotechnologie et à la recherche sur les énergies renouvelables. La chambre de traitement de grand diamètre permet un débit plus élevé et l'accueil de creusets et de nacelles spécialisés, ce qui en fait un choix idéal pour les laboratoires passant de l'expérimentation à petite échelle au développement à l'échelle pilote. Ses capacités de vide robustes et ses fonctions de manipulation des gaz facilitent un contrôle précis de l'environnement chimique pendant les étapes critiques du traitement.
La fiabilité et la constance sont les marques de fabrique de la conception de cette unité. Construit pour résister aux conditions industrielles exigeantes, le système utilise des contrôleurs numériques de haute précision et des éléments chauffants en fil de résistance NiCrAl durables pour maintenir des performances stables sur de longues périodes. L'inclusion de brides en acier inoxydable refroidies par eau protège l'intégrité des joints à vide, assurant un environnement sans fuite même pendant les cycles à haute température. Cet engagement envers l'excellence technique garantit que chaque processus, de la calcination de base au dépôt chimique en phase vapeur avancé, est réalisé avec des résultats reproductibles et de haute précision sur lesquels les chercheurs professionnels peuvent compter.
Caractéristiques principales
- Contrôle précis de la température à deux zones : Le système dispose de deux zones de chauffage contrôlées indépendamment, chacune d'une longueur de 300 mm, gérées par des contrôleurs numériques PID de haute précision. Cela permet d'établir des gradients thermiques stables ou une zone de température constante combinée de 300 mm avec une précision de ±1°C, essentielle pour des processus tels que la croissance de nanorubans TMD.
- Chambre en quartz extra-large de 11 pouces : Équipé d'un tube massif en quartz fondu de 279 mm de diamètre extérieur, ce four accueille des échantillons de grand format, y compris des plaquettes de semi-conducteurs standard de 8 pouces. Le matériau en quartz de haute pureté offre une excellente résistance aux chocs thermiques et une inertie chimique, garantissant un environnement sans contaminants.
- Brides à vide articulées avancées : Les brides à vide en acier inoxydable présentent une conception articulée pour un chargement et un déchargement sans effort des échantillons. Les canaux de refroidissement par eau intégrés dans la structure de la bride à double couche protègent efficacement les joints toriques, maintenant l'intégrité du vide pendant un fonctionnement prolongé à des températures allant jusqu'à 1100°C.
- Isolation thermique à haute efficacité : Utilisant une isolation fibreuse en alumine de haute pureté, l'équipement minimise les pertes de chaleur et réduit la consommation d'énergie. Cette isolation légère et performante permet également des vitesses de chauffage et de refroidissement plus rapides, optimisant le temps de cycle global pour le rendement du laboratoire.
- Éléments chauffants robustes et sécurité : Les éléments chauffants en fil de résistance NiCrAl à longue durée de vie assurent une distribution uniforme de la chaleur. Pour la sécurité de l'opérateur et de l'équipement, un moniteur de température secondaire est inclus pour protéger contre les conditions de surchauffe et les thermocouples cassés, offrant une tranquillité d'esprit pendant le fonctionnement sans surveillance.
- Orifices de gaz et de vide intégrés : Le système comprend un vacuomètre mécanique, deux vannes à pointeau en acier inoxydable et un port de vide KF25. Cet ensemble complet de raccords permet une gestion précise de l'atmosphère, prenant en charge des niveaux de vide de 10-2 torr avec des pompes mécaniques jusqu'à 10-4 torr avec des systèmes turbomoléculaires.
- Profils de traitement thermique programmables : Les deux contrôleurs de température prennent en charge 30 segments programmables, permettant aux utilisateurs d'automatiser des séquences complexes de montée, de maintien et de refroidissement. Cela garantit une reproductibilité élevée sur plusieurs lots, ce qui est critique pour la recherche standardisée et le contrôle qualité industriel.
- Interface informatique et enregistrement des données : L'équipement est compatible avec un logiciel de contrôle spécialisé basé sur Labview, permettant aux chercheurs de modifier les profils de température, de gérer les recettes et d'enregistrer des données en temps réel sur un PC pour une analyse et une documentation approfondies après le processus.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de plaquettes de semi-conducteurs | Traitement thermique de plaquettes de grand format (jusqu'à 8") pour réparer les défauts cristallins ou activer les dopants. | Uniformité supérieure sur toute la surface de la plaquette. |
| Croissance de nanorubans TMD | Utilisation de deux zones pour contrôler indépendamment la pression de vapeur de chalcogène et la température de réaction du substrat. | Contrôle précis de la largeur des nanorubans et de la cinétique de croissance via la sursaturation. |
| Pyrolyse catalytique | Décomposition à haute température de matières organiques, telles que des pneus usagés, sous atmosphères contrôlées. | Prévention de la surchauffe localisée et de la carbonisation excessive via des gradients stables. |
| Frittage de matériaux | Consolidation de matériaux en poudre en solides denses pour la recherche sur les céramiques structurelles ou électroniques. | Densité et structure de grain constantes obtenues grâce à une précision de ±1°C. |
| Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) | Dépôt précis de couches minces à l'aide de mélanges gazeux spécialisés et de tubes de traitement de grand diamètre. | Accueille de grands substrats et un débit de gaz élevé pour une recherche évolutive. |
| Traitement thermique sous vide | Relaxation des contraintes ou durcissement de composants métalliques dans un environnement sans oxygène. | Élimine l'oxydation et la contamination de surface pendant les cycles à haute température. |
Pourquoi nous choisir
- Fiabilité de qualité industrielle : Conçu avec des fils de résistance à haute durabilité et une isolation fibreuse avancée, ce système est conçu pour une constance opérationnelle à long terme dans des environnements de recherche exigeants.
- Capacité à grande échelle : Le tube de 11 pouces de diamètre est une offre rare dans les fours à l'échelle du laboratoire, fournissant le volume nécessaire pour le traitement des plaquettes de 8 pouces et les grands lots de matériaux sans nécessiter d'équipement de taille industrielle.
- Gestion thermique de précision : Le contrôle indépendant des deux zones offre la flexibilité thermique requise pour le dépôt chimique en phase vapeur complexe et la croissance de nanostructures, garantissant le plus haut niveau de contrôle expérimental.
- Sécurité et protection robustes : La surveillance secondaire intégrée de la température et les systèmes de brides refroidies par eau protègent les actifs de votre laboratoire et assurent la longévité des joints à vide poussé.
- Intégration complète : De la compatibilité avec le logiciel Labview aux options personnalisables de mélange de gaz et de station de vide, ce four sert de plateforme complète et évolutive pour vos besoins de traitement thermique.
Pour plus d'informations sur le four à deux zones TU-32 ou pour recevoir un devis personnalisé adapté à vos besoins spécifiques en matière de vide et de manipulation de gaz, veuillez contacter notre équipe de vente technique dès aujourd'hui.
RICHIEDI UN PREVENTIVO
Il nostro team di professionisti ti risponderà entro un giorno lavorativo. Non esitate a contattarci!
Produits associés
Four tubulaire divisé à double zone 1200°C avec tube en quartz fondu et brides à vide, disponible en diamètres 60 mm, 80 mm et 100 mm
Améliorez la recherche sur les matériaux avec ce four tubulaire divisé à double zone de 1200°C, doté d'un contrôle de température indépendant pour des gradients thermiques précis. Équipé de tubes en quartz fondu et de brides d'étanchéité sous vide, c'est la solution idéale pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) avancé et la synthèse de nanomatériaux.
Four tubulaire à hydrogène à double zone 1100°C avec tube en quartz et système intégré de détection de fuite de H2
Ce four tubulaire à hydrogène haute performance à double zone est doté d'un détecteur de gaz Honeywell intégré pour un traitement thermique en toute sécurité jusqu'à 1100°C. Conçu pour la R&D en science des matériaux, il offre un contrôle précis de l'atmosphère avec des tubes en quartz de 60 mm ou 80 mm de diamètre.
Four tubulaire vertical divisé à double zone de 1100°C avec tube en quartz de 4 pouces et brides d'étanchéité sous vide
Ce four tubulaire vertical divisé à double zone de 1100°C est équipé d'un tube en quartz de quatre pouces et de brides d'étanchéité sous vide. Conçu pour les applications CVD et PVD, ce système de haute précision offre une uniformité thermique exceptionnelle pour la recherche et le développement en laboratoire.
Four tubulaire divisé haute température 1200°C avec brides à vide articulées et tube en quartz de 4 pouces pour la recherche en laboratoire
Ce four tubulaire divisé de 1200°C est doté de brides à vide articulées et d'un tube en quartz de quatre pouces pour un chargement simplifié des échantillons. Conçu pour un traitement thermique précis, il offre une uniformité de température exceptionnelle et des performances de vide optimales pour les applications avancées en science des matériaux et en R&D industrielle.
Four à tube en quartz double zone de 80 mm de diamètre, température maximale 1200°C, avec mélangeur de gaz 3 voies et système de pompe à vide
Ce four à tube en quartz double zone avancé se caractérise par un tube de 80 mm de diamètre, un mélangeur de gaz intégré à trois voies et un système de vide haute performance. Idéal pour la CVD et la recherche sur les matériaux, il offre un traitement thermique précis à 1200°C et des capacités de surveillance du vide anti-corrosion.
Four tubulaire à chauffage rapide à double zone, système sous vide et atmosphère contrôlée haute température
Ce four tubulaire à chauffage rapide à double zone haute performance offre une température maximale de 1200°C avec des taux de montée en température rapides de 100°C par minute, un contrôle PID de précision et des capacités d'atmosphère sous vide pour la recherche avancée sur les matériaux, le frittage et les applications de dépôt chimique en phase vapeur.
Four tubulaire coulissant à double zone de température 1200°C pour la croissance de matériaux 2D et la synthèse TCVD
Optimisez la synthèse avancée de matériaux 2D grâce à ce système à double four 1200°C doté d'une zone de chauffage coulissante pour un refroidissement ultra-rapide, d'un contrôle de température PID indépendant et d'un traitement au quartz de haute pureté, conçu pour le dépôt chimique en phase vapeur thermique (TCVD) de précision et la R&D.
Four tubulaire à double zone allongé haute température pour la recherche sur les matériaux et le traitement thermique industriel
Améliorez votre recherche sur les matériaux avec ce four tubulaire à double zone allongé haute performance. Doté d'éléments suédois Kanthal A1 et d'un contrôle PID avancé, il assure une uniformité thermique exceptionnelle jusqu'à 1200°C pour les applications exigeantes de R&D en laboratoire et dans l'industrie moderne.
Four de tube à double zone de température à double couvercle pour CVD à haute température et recuit sous vide
Four tubulaire professionnel à double zone de température et haute température, doté d’éléments chauffants Kanthal A1 et d’une commande PID avancée pour les applications de recherche et industrielles. Ce système assure un traitement thermique précis pour la CVD, le recuit sous vide et le frittage des matériaux avec une fiabilité inégalée.
Four tubulaire allongé à deux zones de température pour le traitement thermique industriel et la recherche en science des matériaux
Ce four tubulaire allongé à deux zones de température est équipé d'éléments suédois Kanthal A1 et d'un contrôle PID avancé pour une recherche précise sur les matériaux. Avec des options de vide et d'atmosphère, il offre une uniformité thermique et une fiabilité supérieures pour les applications exigeantes de traitement thermique en laboratoire industriel.
Four tubulaire compact à double zone de chauffage 1200°C avec tube de 1" - 2" et brides à vide en option
Ce four tubulaire compact à double zone de chauffage 1200°C offre un contrôle précis du gradient de température et des capacités de mise sous vide. Conçu pour la R&D en science des matériaux, il dispose de contrôleurs PID indépendants, de brides en acier inoxydable et d'une isolation fibreuse économe en énergie pour des performances de laboratoire constantes.
Four à tubes à quatre canaux à haut débit 1200°C avec tubes en quartz de 3 pouces pour le recuit multi-zones et la recherche sur les matériaux
Accélérez la recherche sur les matériaux grâce à notre four à tubes avancé à quatre canaux de 1200°C, doté d'un contrôle indépendant pour chaque tube en quartz de 3 pouces. Ce système à haut débit offre une efficacité inégalée pour le recuit et les études de diagrammes de phase dans les laboratoires de R&D industriels et universitaires.
Four tubulaire à double zone haute température 1700°C pour la science des matériaux et la recherche industrielle en dépôt chimique en phase vapeur
Ce four tubulaire haute température à double zone de 1700°C offre un contrôle indépendant pour des gradients thermiques précis, idéal pour le CVD, le PVD et la croissance cristalline dans la recherche sur les matériaux avancés, doté d'éléments en MoSi2 et d'une intégration robuste de tubes en alumine scellés sous vide pour une fiabilité industrielle.
Four tubulaire divisé à double zone avec contrôle d'atmosphère sous vide poussé et refroidissement rapide
Conçu pour l'excellence, ce four tubulaire divisé à double zone offre une trempe de précision et un contrôle de l'atmosphère sous vide. Utilisant des systèmes de contrôle japonais avancés et des éléments chauffants de première qualité, il garantit des profils thermiques uniformes pour la recherche sur les matériaux critiques et les processus de R&D industriels de haute performance.
Four tubulaire automatisé 1200 C pour la recherche sur les matériaux IA avec diamètre extérieur de 6 pouces et bride coulissante
Accélérez la découverte de matériaux avec ce four tubulaire automatisé premium conçu pour la recherche pilotée par l'IA. Doté d'un diamètre de 6 pouces et d'un chauffage double zone, ce système permet une intégration robotique et une synthèse continue 24h/24 et 7j/7 pour des applications de R&D industrielle et de laboratoire à haut débit.
Four tubulaire sous vide à double zone haute température pour la recherche sur les matériaux et les procédés CVD
Améliorez les capacités de votre laboratoire avec ce four tubulaire sous vide à double zone de haute précision. Conçu pour la recherche avancée sur les matériaux et les procédés CVD, il dispose d'un contrôle indépendant de la température, de vitesses de chauffage rapides et d'une étanchéité sous vide robuste pour des résultats de traitement thermique constants de qualité industrielle.
Four tubulaire rotatif à double température avec rotation de précision et inclinaison réglable pour la recherche avancée sur les matériaux
Four tubulaire rotatif à double température haute performance, équipé d'éléments Kanthal A1 et d'une rotation de précision pour un traitement uniforme des matériaux. Idéal pour les applications CVD et R&D nécessitant un contrôle thermique fiable et une inclinaison réglable dans des environnements de laboratoire industriels exigeants.
Four tubulaire divisé à deux zones 1500°C avec bride à vide et tube en alumine de 80 mm
Four tubulaire divisé à deux zones haute performance de 1500°C, équipé d'un tube en alumine de 80 mm, d'éléments chauffants en SiC et d'un contrôle PID précis. Idéal pour la R&D sur les matériaux, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le traitement thermique avec des capacités de vide et d'atmosphères multiples pour des applications de recherche en laboratoire industriel de pointe.
Four à tube à deux zones à glissement automatique haute température 1200°C pour la croissance de dichalcogénures de métaux de transition 2D et la recherche sur la sublimation des matériaux
Maîtrisez la synthèse de matériaux 2D avec ce système de four double à glissement automatique à 1200°C conçu pour la croissance de TMD. Il dispose de zones indépendantes de sublimation et de dépôt pour un contrôle thermique précis et des vitesses de refroidissement rapides, afin d'obtenir des résultats de recherche de haute qualité sur la production de cristaux en couches minces.
Four tubulaire divisé ultra-long à 12 zones avec tube en quartz de 6 mètres et température maximale de 1100 °C
Ce four tubulaire divisé à 12 zones de haute précision offre une longueur de chauffage de six mètres et une température maximale de 1100 °C pour les échantillons de grande taille. Doté d'un contrôle PID indépendant et de brides prêtes pour le vide, il offre une uniformité exceptionnelle pour les applications avancées de science des matériaux industriels et de R&D.