Four tubulaire
Four tubulaire sous vide divisé de 5 pouces à haute température 1200°C avec zone de chauffage de 12 pouces et contrôleur PID séparé
Numéro d'article: TU-22
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Présentation du produit
Ce four tubulaire divisé haute performance représente le summum de la technologie de traitement thermique compacte et économe en énergie. Conçu pour la précision et la polyvalence, le système offre une température de fonctionnement maximale de 1200°C, ce qui en fait un outil essentiel pour les laboratoires de science des matériaux et les centres de R&D industriels. La conception à charnière divisée permet un refroidissement rapide et un chargement/déchargement sans effort des échantillons, tandis que le tube en quartz de grand diamètre peut accueillir des substrats jusqu'à 4 pouces de diamètre. En intégrant des matériaux isolants avancés et un module de contrôle séparé, l'équipement offre une stabilité thermique exceptionnelle et une fiabilité opérationnelle à long terme dans les environnements exigeants.
Conçue pour répondre aux exigences rigoureuses de la recherche moderne, cette unité est largement utilisée pour les processus de recuit, de frittage et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Sa capacité à fonctionner sous vide poussé ou dans des conditions atmosphériques contrôlées offre aux chercheurs la flexibilité nécessaire pour synthétiser des matériaux 2D, traiter des plaquettes semi-conductrices et effectuer des traitements thermiques complexes. L'architecture du contrôleur séparé garantit que les composants électroniques sensibles sont protégés de la chaleur intense du corps du four, prolongeant considérablement la durée de vie de l'électronique et assurant des performances constantes sur des milliers de cycles.
La fiabilité est au cœur de la conception de ce système. Tous les composants électriques sont certifiés NRTL, garantissant la conformité aux normes de sécurité strictes pour une utilisation en laboratoire. Le four utilise une structure en acier à double couche combinée à une isolation fibreuse en Al2O3 de haute pureté et un revêtement céramique réfractaire pour minimiser les pertes de chaleur et maximiser les économies d'énergie. Cette qualité de construction robuste garantit que l'équipement reste froid au toucher à l'extérieur tout en maintenant une uniformité de température interne précise, offrant un espace de travail sûr et productif pour les techniciens comme pour les scientifiques.
Caractéristiques principales
- Conception précise à charnière divisée : Le corps du four est conçu avec un mécanisme d'ouverture divisé qui permet un accès rapide aux échantillons et des phases de refroidissement accélérées, améliorant considérablement le débit du laboratoire et la flexibilité expérimentale.
- Tube de traitement en quartz de grand diamètre : Équipée d'un tube en quartz de haute pureté de 5 pouces (130 mm) de diamètre extérieur, cette unité est capable de traiter de grands substrats, y compris des plaquettes semi-conductrices jusqu'à 4 pouces de diamètre, sans compromettre l'uniformité thermique.
- Module de contrôle numérique séparé : Le contrôleur PID programmable à 30 étapes est logé dans un boîtier séparé, isolant les composants électroniques critiques du rayonnement thermique du four pour garantir une précision maximale et la longévité de l'équipement.
- Isolation fibreuse haute efficacité : Utilisant une isolation fibreuse en Al2O3 de haute pureté avec un revêtement spécial en alumine, le four atteint une efficacité énergétique supérieure et une durée de vie plus longue par rapport aux matériaux réfractaires traditionnels.
- Système de scellage sous vide avancé : Une paire de brides à vide en acier inoxydable 304 avec doubles joints toriques en silicone haute température assure une étanchéité fiable, permettant des niveaux de vide allant jusqu'à 10-2 Torr avec une pompe mécanique standard.
- Sécurité et certification intégrées : Le système dispose d'une protection intégrée contre la surchauffe et la défaillance des thermocouples, et toutes les pièces électriques sont certifiées NRTL, répondant aux normes de sécurité les plus élevées pour les laboratoires industriels et universitaires.
- Gestion flexible des gaz et du vide : Les ports KF25 standard et les raccords cannelés de 1/4" permettent une connexion transparente aux pompes à vide et aux systèmes de distribution de gaz, prenant en charge les processus à atmosphère statique et dynamique.
- Éléments chauffants de qualité supérieure : Les éléments en alliage Fe-Cr-Al dopés au molybdène fournissent un chauffage stable et constant jusqu'à 1200°C, garantissant la durabilité requise pour les cycles répétitifs à haute température.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de plaquettes semi-conductrices | Traitement à haute température de plaquettes de silicium ou de semi-conducteurs composés pour modifier les propriétés électriques. | Accueille des plaquettes jusqu'à 4" avec une uniformité thermique exceptionnelle. |
| Synthèse de matériaux 2D | Synthèse de graphène, MoS2 et autres matériaux en couches minces via CVD ou traitement thermique. | Le contrôle précis du débit et l'intégrité du vide assurent une croissance de film de haute qualité. |
| Frittage de céramiques | Consolidation de poudres céramiques compactes en composants denses et à haute résistance sous vide ou gaz inerte. | La conception divisée permet un chargement facile des pièces fragiles. |
| Calcination atmosphérique | Chauffage de substances minérales ou chimiques dans des environnements gazeux contrôlés pour éliminer les fractions volatiles. | L'entrée/sortie de gaz polyvalente permet des réactions chimiques précises. |
| Dégazage sous vide | Élimination des gaz piégés dans des alliages spéciaux ou des matériaux composites pour améliorer l'intégrité structurelle. | Les brides haute performance maintiennent des niveaux de vide stables tout au long du cycle. |
| Recherche sur les matériaux de batterie | Traitement thermique des matériaux de cathode et d'anode sous atmosphères inertes pour optimiser les performances électrochimiques. | La zone de chauffage uniforme de 12" offre des propriétés de matériau constantes. |
| Soulagement des contraintes de revêtement | Soulagement des contraintes internes dans les revêtements spéciaux appliqués sur des substrats métalliques ou céramiques. | Les taux de refroidissement programmables évitent les chocs thermiques et le délaminage du revêtement. |
| Préparation de catalyseurs | Activation thermique de matériaux catalytiques sous des conditions de flux gazeux spécifiques. | Le contrôleur séparé permet une intégration sûre dans les hottes de laboratoire. |
Spécifications techniques
| Paramètre | Spécification pour TU-22 |
|---|---|
| Temp. de fonctionnement max. | 1200°C (< 1 heure) |
| Temp. de fonctionnement continu | 1100°C |
| Longueur de la zone de chauffage | 12" (300 mm) |
| Zone à température constante | 100 mm (±1ºC) / 140 mm (±2ºC) |
| Matériau et taille du tube | Quartz haute pureté ; 5" D.E. x 4,7" D.I. x 29,5" L (130 x 120 x 750 mm) |
| Éléments chauffants | Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo |
| Taux de chauffage max. | ≤ 20°C/min |
| Précision de la température | ± 1°C |
| Contrôle de la température | PID programmable à 30 étapes via relais statique |
| Structure du four | Acier double couche avec isolation fibreuse en Al2O3 haute pureté |
| Puissance / Tension | 3 KW / 220VAC 50/60Hz |
| Niveau de vide | 10-2 Torr (avec pompe mécanique) |
| Brides à vide | Acier inoxydable 304 avec doubles joints toriques en silicone ; port KF25 inclus |
| Surveillance de la pression | Manomètre mécanique standard (-0,1 à 0,15 Mpa) |
| Raccords | Raccord cannelé 1/4" pour entrée de gaz ; KF25 pour sortie de vide |
| Certifications | Composants électriques certifiés NRTL |
| Mises à niveau optionnelles | Module de contrôle PC, contrôleur Eurotherm, manomètre à vide numérique, brides refroidies par eau |
Pourquoi choisir le TU-22
- Précision thermique inégalée : La combinaison d'un contrôleur PID programmable à 30 étapes et d'éléments chauffants en alliage Fe-Cr-Al de haute qualité garantit que vos expériences sont reproductibles et précises à ±1°C près.
- Optimisé pour un débit élevé : La conception du four divisé est un avantage critique pour les laboratoires occupés, permettant un refroidissement naturel rapide et simplifiant le processus d'échange d'échantillons entre les cycles.
- Ingénierie de sécurité robuste : Avec la certification NRTL et des fonctions de protection avancées telles que les alertes de surchauffe et de défaillance de thermocouple, ce système est conçu pour un fonctionnement sûr et sans surveillance dans des environnements professionnels.
- Polyvalence évolutive : La conception modulaire du TU-22 permet une personnalisation importante, incluant le contrôle par PC, des contrôleurs Eurotherm de haute précision et des brides refroidies par eau pour un travail prolongé à haute température.
- Qualité de construction de qualité industrielle : Des céramiques réfractaires revêtues d'alumine de haute pureté aux composants sous vide en acier inoxydable 304, chaque aspect de ce four est construit pour une durabilité à long terme et un entretien minimal.
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