Four tubulaire
Four tubulaire à zone unique, tube en quartz de 5 pouces, zone de chauffe de 36 pouces, brides à vide
Numéro d'article: TU-31
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Présentation du produit
Ce système de traitement thermique haute performance est conçu pour la recherche avancée sur les matériaux et les applications de traitement thermique industriel nécessitant une chambre de réaction de grand diamètre et une longue zone de chauffe uniforme. Conçu comme un four à zone unique de type ouvert (split-type), l'équipement permet un accès facile au tube de traitement, facilitant le chargement et le déchargement rapides des échantillons tout en rationalisant les procédures de maintenance. Sa proposition de valeur principale réside dans sa capacité à maintenir un environnement thermique hautement stable jusqu'à 1200°C, ce qui en fait un outil indispensable pour les laboratoires et les installations de production axés sur le traitement des semi-conducteurs, la métallurgie et l'ingénierie céramique.
L'équipement est spécifiquement optimisé pour les processus de haute pureté, notamment le recuit sous vide, la diffusion en phase gazeuse et le frittage à l'état solide. En utilisant un tube en quartz fondu de 5 pouces de diamètre, ce système peut accueillir des substrats plus grands ou des volumes plus importants de petits échantillons par rapport aux fours de laboratoire standard. Il est particulièrement bien adapté au traitement de plaquettes de 4 pouces, offrant la uniformité thermique et le contrôle d'atmosphère nécessaires aux procédures délicates d'oxydation et de dopage dans l'industrie électronique.
La fiabilité est au cœur de la conception de cette unité. Construit avec des composants de qualité industrielle et un boîtier en acier à double paroi robuste, le système est capable de fonctionner en continu dans des environnements exigeants. L'intégration d'une technologie de refroidissement par air avancée garantit que la coque extérieure reste sûre au toucher même pendant les cycles à haute température, protégeant à la fois l'opérateur et l'infrastructure de laboratoire environnante. Cette unité représente un investissement solide pour les organisations privilégiant la précision technique et la cohérence opérationnelle à long terme.
Caractéristiques principales
- Gestion précise de la température : Le système utilise un contrôleur numérique certifié MET offrant 30 segments programmables. Cela permet un contrôle méticuleux des vitesses de chauffe, des vitesses de refroidissement et des temps de maintien, garantissant des résultats reproductibles sur des cycles thermiques complexes.
- Chambre de traitement en quartz haute capacité : Dotée d'un tube en quartz fondu de 130 mm de diamètre extérieur, l'unité offre un environnement spacieux pour les expériences à grande échelle. Le quartz de haute qualité offre une résistance exceptionnelle aux chocs thermiques et une inertie chimique pour un contrôle de l'atmosphère de haute pureté.
- Isolation thermique avancée : Une isolation en alumine fibreuse de haute pureté est utilisée pour maximiser l'efficacité énergétique. Ce matériau réfractaire de haute qualité minimise les pertes de chaleur, permettant au système d'atteindre et de maintenir des températures de pointe avec une consommation d'énergie réduite.
- Système d'étanchéité sous vide robuste : L'équipement comprend une paire de brides à vide en acier inoxydable 304 équipées de doubles joints toriques en silicone haute température. Cet assemblage garantit une étanchéité hermétique capable d'atteindre des niveaux de vide jusqu'à 10^-5 torr lorsqu'il est associé à une pompe moléculaire.
- Éléments chauffants haute résistance : Le four est alimenté par des éléments chauffants en alliage Fe-Cr-Al dopés au molybdène. Ces éléments sont conçus pour la longévité et un rayonnement thermique constant, même lorsqu'ils sont soumis à des cycles fréquents à haute température.
- Sécurité et surveillance intégrées : Une fonction PID auto-ajustable intégrée, couplée à une protection contre la surchauffe et des alarmes de rupture de thermocouple, permet un fonctionnement sûr et sans surveillance. Un manomètre intégré permet une surveillance en temps réel de l'environnement interne du tube.
- Ingénierie de four ouvert (Split-Furnace) : La conception à charnière divisée du boîtier permet à la moitié supérieure du four de s'ouvrir, offrant un accès immédiat à la zone de chauffe et au tube en quartz. Cette fonctionnalité est essentielle pour un refroidissement rapide ou pour le positionnement précis des composants internes.
- Port de communication évolutif : Équipé d'un port de communication RS485, le système peut être intégré dans des réseaux de laboratoire pour la surveillance à distance et l'enregistrement des données, prenant en charge les normes modernes de l'industrie 4.0 pour la traçabilité numérique.
- Refroidissement externe efficace : Un boîtier en acier à double paroi avec refroidissement par air actif maintient la température de surface externe en dessous de 60°C, assurant un environnement de travail confortable et protégeant l'électronique interne de la fatigue thermique.
- Environnement de traitement personnalisable : L'unité prend en charge diverses entrées et sorties de gaz via des vannes à pointeau sur les brides, permettant aux chercheurs d'introduire des gaz protecteurs ou réactifs tels que l'azote, l'argon ou le gaz de formage pendant le processus de chauffage.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Oxydation des semi-conducteurs | Croissance de couches d'oxyde sur des plaquettes de silicium de 4 pouces dans un environnement oxygéné contrôlé à haute température. | Une uniformité thermique élevée garantit une épaisseur d'oxyde constante sur toute la surface de la plaquette. |
| Recuit sous vide | Relâchement des contraintes internes dans les alliages métalliques ou les composants en verre par chauffage dans un environnement sous vide poussé pour éviter l'oxydation. | Empêche la décoloration de la surface et maintient la pureté du matériau grâce à une étanchéité hermétique supérieure. |
| Recherche CVD | Servant de chambre de réaction pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de graphène, de nanotubes de carbone ou de revêtements en couches minces. | Le grand diamètre du tube de 5" permet une grande stabilité du flux de gaz précurseur et le traitement de substrats plus grands. |
| Frittage de céramique | Consolidation de poudres céramiques compactées en composants denses et à haute résistance à des températures allant jusqu'à 1100°C. | La programmation précise à 30 segments empêche les chocs thermiques et les fissures pendant les phases de refroidissement critiques. |
| Dopage par diffusion | Introduction d'impuretés dopantes dans les matériaux semi-conducteurs par diffusion en phase gazeuse ou à partir d'une source solide. | La conception du four divisé permet une trempe rapide ou une synchronisation précise du processus de diffusion. |
| Calcination des matériaux | Décomposition thermique des matières premières pour éliminer les fractions volatiles ou initier des changements de phase. | L'isolation en alumine fibreuse offre la stabilité thermique nécessaire pour les cycles de calcination de longue durée. |
| R&D sur les matériaux de batterie | Synthèse et traitement thermique de poudres de cathode ou d'anode sous atmosphères de gaz inerte. | La gestion intégrée des gaz et la surveillance de la pression assurent un traitement sûr des chimies de batterie sensibles. |
| Frittage sous atmosphère | Traitement thermique d'alliages spécialisés dans des environnements d'azote ou d'argon pour obtenir des propriétés métallurgiques spécifiques. | Des vannes d'entrée/sortie de gaz fiables et des brides SS304 assurent une atmosphère pure et sans fuite. |
Spécifications techniques
| Catégorie de spécification | Détails des paramètres (Modèle : TU-26) |
|---|---|
| Configuration de la zone de chauffe | Conception de four divisé à zone unique |
| Température de fonctionnement max. | 1200°C (pour des durées < 5 heures) en atmosphère inerte |
| Température de fonctionnement continu | 1100°C |
| Longueur de la zone de chauffe | 880 mm (env. 34,6 pouces) |
| Zone à température constante | 240 mm (±1°C) |
| Vitesse de chauffe | ≤ 20°C par minute |
| Éléments chauffants | Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo |
| Tube de traitement standard | Quartz fondu : 130 mm DE x 120 mm DI x 1400 mm L |
| Tailles de tube optionnelles | Diamètres de 80 mm et 100 mm disponibles |
| Contrôle de la température | Contrôleur PID certifié MET, 30 segments programmables |
| Précision de la température | ± 1°C |
| Thermocouple | Type K |
| Puissance de sortie | 7,0 KW |
| Tension d'entrée | AC 208-240V monophasé, 50/60 Hz |
| Niveau de vide | 10^-2 torr (pompe mécanique) ; jusqu'à 10^-5 torr (pompe moléculaire) |
| Brides à vide | Une paire SS304 avec doubles joints toriques en silicone et vannes à pointeau |
| Structure du boîtier | Acier à double paroi avec refroidissement par air (température de surface ≤ 60°C) |
| Matériau d'isolation | Alumine fibreuse de haute pureté avec revêtement réfractaire |
| Communication | Port RS485 (Logiciel MTS02-Y et pack ordinateur portable en option) |
| Caractéristiques de sécurité | Protection contre la surchauffe, alarme de rupture de thermocouple, auto-ajustement PID |
Pourquoi choisir le TU-26
- Stabilité thermique éprouvée : Ce système est conçu pour offrir une zone à température constante hautement cohérente de 240 mm, garantissant que vos échantillons subissent des conditions thermiques uniformes tout au long du cycle de traitement.
- Qualité de fabrication supérieure : De l'isolation en alumine de haute pureté aux brides à vide en acier inoxydable 304, chaque composant est sélectionné pour sa capacité à résister aux rigueurs de la R&D industrielle à haute température.
- Intégration polyvalente : Avec des options pour des brides coulissantes, des contrôleurs Eurotherm avancés (précision de ±0,1°C) et des kits de pompe à vide spécialisés, cet équipement peut être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques de tout laboratoire de science des matériaux.
- Ingénierie axée sur la sécurité : Le boîtier en acier à double paroi et les systèmes d'alarme avancés offrent une tranquillité d'esprit, permettant un traitement de longue durée sans surveillance constante, augmentant ainsi le débit opérationnel de votre installation.
- Évolutif pour l'industrie : La combinaison d'un grand tube en quartz de 5 pouces et d'une puissance robuste rend ce four adapté à la fois à la recherche académique initiale et à la production industrielle en petits lots.
Pour plus d'informations sur le TU-26 ou pour demander un devis personnalisé pour vos besoins spécifiques en traitement thermique, veuillez contacter notre équipe de vente technique dès aujourd'hui.
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