Four à tube fendu à trois zones haute température 1500C avec tube en alumine de 80 mm et bride à vide

Four tubulaire

Four à tube fendu à trois zones haute température 1500C avec tube en alumine de 80 mm et bride à vide

Numéro d'article: TU-65

Température maximale: 1500°C Longueur de la zone de chauffage: 600 mm (zone triple) Tube de traitement: Alumine 80 mm
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Ce système de traitement thermique haute performance est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la science des matériaux avancée et de la R&D industrielle. Doté d’une architecture sophistiquée de chauffage à trois zones, l’équipement permet de créer des paliers thermiques extrêmement stables ou des gradients de température précis. Grâce à des tubes de traitement en alumine de haute pureté et à une conception à four fendu, cette unité offre une plateforme polyvalente pour la synthèse, le frittage et le recuit à haute température jusqu’à 1500°C. Sa principale valeur ajoutée réside dans sa capacité à fournir des résultats reproductibles et de haute précision dans des environnements allant du vide poussé aux atmosphères contrôlées, garantissant ainsi la cohérence et l’évolutivité des recherches critiques.

Ciblant des secteurs tels que la fabrication de semi-conducteurs, les céramiques aérospatiales et la recherche métallurgique, ce système excelle dans les applications où l’uniformité thermique est impérative. L’équipement est conçu pour des environnements de laboratoire polyvalents où différents tubes de traitement peuvent devoir être remplacés rapidement afin de s’adapter à diverses exigences expérimentales. Sa construction robuste et ses éléments chauffants de pointe en font un outil fiable pour les institutions académiques comme pour les laboratoires industriels axés sur la prochaine génération de matériaux.

La fiabilité est au cœur de la conception de cet équipement. Intégrant un système de sécurité à verrouillage récemment mis à jour et des éléments chauffants en carbure de silicium de haute qualité, l’unité est construite pour durer et assurer la sécurité opérationnelle. Même en fonctionnement continu à haute température à 1400°C, le système maintient son intégrité structurelle et sa précision. Les acheteurs industriels peuvent avoir une confiance totale dans les performances de l’équipement lors de cycles d’utilisation exigeants, soutenus par une commande PID complète et des mécanismes redondants de protection contre la surchauffe, permettant un fonctionnement sans surveillance sans compromettre la sécurité ou l’intégrité des échantillons.

Caractéristiques principales

  • Chauffage à trois zones contrôlées indépendamment : Le système comprend trois zones de chauffage distinctes de 200 mm (600 mm au total), chacune gérée par son propre contrôleur et thermocouple de type S. Cela permet d’obtenir une zone de température constante de 350 mm avec une uniformité de ±2ºC ou de créer des gradients thermiques personnalisés pour les applications de transport en phase vapeur.
  • Régulation précise de la température par PID : Équipé de trois contrôleurs programmables à 30 segments, l’équipement offre une logique de microtraitement avancée pour gérer les vitesses de chauffage, de refroidissement et les temps de maintien avec une précision de ±1°C.
  • Conception ergonomique à chambre fendue : Le carter du four est conçu pour s’ouvrir dans le sens de la longueur, facilitant le remplacement du tube, le chargement des échantillons et l’intégration de réseaux complexes de capteurs internes sans démonter l’ensemble de la bride à vide.
  • Système de verrouillage de sécurité avancé : Intégré à la structure du four, un verrouillage de sécurité spécialisé coupe automatiquement l’alimentation des éléments chauffants lorsque la chambre est ouverte, protégeant les opérateurs contre l’exposition électrique et thermique pendant l’inspection ou la maintenance.
  • Éléments en carbure de silicium (SiC) haute performance : Équipé de 24 tiges SiC haut de gamme certifiées 1500°C (14 mm de diamètre), le système garantit une réponse thermique rapide et un transfert de chaleur rayonnante uniforme dans tout le tube de traitement céramique.
  • Capacité atmosphérique polyvalente : L’équipement est livré avec des tubes en alumine de haute pureté et des brides à vide usinées avec précision, prenant en charge des niveaux de vide jusqu’à 10E-5 torr (avec pompes moléculaires) et des environnements gazeux à basse pression.
  • Circuit de protection complet : Des protections intégrées contre la surchauffe et les thermocouples cassés offrent une tranquillité d’esprit pendant les cycles de longue durée, y compris des alarmes sonores et visuelles qui se déclenchent automatiquement en cas d’écart.
  • Communication numérique extensible : Dotée d’un port RS485 standard, l’unité peut être améliorée avec des modules de contrôle par PC pour l’enregistrement des données en temps réel, la gestion à distance des recettes et la vérification automatisée des cycles via un logiciel basé sur Labview.
  • Options de tubes en mullite/alumine durables : Le système prend en charge divers matériaux de tube, notamment l’alumine standard (80 mm DE) et le mullite en option (82 mm DE), permettant aux utilisateurs d’optimiser la compatibilité chimique et la résistance aux chocs thermiques selon les exigences spécifiques du procédé.

Applications

Application Description Avantage clé
CVD / PECVD Dépôt chimique en phase vapeur pour la croissance de films minces et de nanotubes de carbone. Le contrôle précis des gradients permet un dépôt uniforme du film sur de grands substrats.
Frittage de céramiques techniques Densification à haute température des céramiques avancées oxydées et non oxydées. La capacité de pointe à 1500°C permet la synthèse de céramiques techniques à haut point de fusion.
Recuit de semi-conducteurs Traitement thermique contrôlé de plaquettes de silicium ou de matériaux semi-conducteurs composés. Le contrôle à trois zones assure un historique thermique identique sur toute la longueur du tube de procédé.
Croissance cristalline Techniques de transport en phase vapeur et de solidification directionnelle pour la synthèse de monocristaux. La programmation indépendante des zones permet d’affiner le déplacement de l’interface liquide-solide.
Dégazage sous vide Élimination des impuretés volatiles et des gaz des alliages métallurgiques spécialisés. La conception de la bride à vide élevée maintient l’intégrité structurelle sous vide profond à haute température.
Recherche sur les matériaux de batteries Calcination et cycles thermiques de précurseurs d’anodes/cathodes en atmosphères inertes ou oxydantes. Les robustes thermocouples de type S offrent la stabilité à long terme nécessaire aux essais de cyclage sur plusieurs jours.

Spécifications techniques

Paramètre Détails des spécifications pour TU-65
Numéro de modèle TU-65
Température max. 1500°C (< 1 heure)
Température de travail continue 1400°C
Vitesse de chauffage 5°C/min recommandé
Puissance nominale 9KW
Tension d’entrée AC220V monophasé, 50/60Hz (nécessite un disjoncteur de 50A)
Configuration des zones de chauffage Trois zones : 200 mm par zone (600 mm de longueur totale)
Zone de température uniforme 350 mm (± 2ºC) lorsque toutes les zones sont réglées sur la même consigne
Précision de température Précision de ±1ºC avec contrôle programmable PID à 30 segments
Tube de traitement (standard) Tube en alumine : 80 mm DE × 74 mm DI × 1200 mm L
Tube de traitement (optionnel) Tube en mullite : 82 mm DE × 73 mm DI × 1200 mm L
Éléments chauffants 24 tiges en carbure de silicium (14 mm dia x 150 mm de zone chauffée x 413 mm L)
Thermocouples 3 pcs de type S (un pour chaque zone de chauffage)
Capacité de vide 10E-2 torr (pompe mécanique) / 10E-5 torr (pompe moléculaire)
Limitation du débit de gaz < 200 SCCM (200 ml/min) avec régulateur à deux étages (< 3 PSI)
Pression de fonctionnement max. < 0,02 Mpa (pour les applications avec tube en mullite)
Interface de communication RS485 (module de contrôle PC MTS-02 en option disponible)
Conformité Certifié CE ; NRTL (UL61010) ou CSA disponibles sur demande
Fonctions de sécurité Système de verrouillage intégré (actif depuis juin 2015) ; alarme de surchauffe/TC cassé

Pourquoi choisir le TU-65

  • Uniformité thermique supérieure : L’architecture du TU-65 utilise un système de contrôle indépendant à triple zone qui élimine les effets d’extrémité froide courants dans les fours à zone unique, offrant une fenêtre de traitement utile nettement plus grande.
  • Ingénierie de précision et qualité de fabrication : Construit avec des matériaux réfractaires de haute qualité et un boîtier fendu renforcé, cette unité est conçue pour une durabilité de niveau industriel et une maintenance aisée dans les laboratoires à haut débit.
  • Sécurité renforcée pour l’opérateur : Contrairement aux modèles plus anciens, le TU-65 dispose d’un système moderne de verrouillage matériel qui minimise le risque d’exposition thermique ou électrique accidentelle, conformément aux normes modernes de sécurité en laboratoire.
  • Contrôle atmosphérique polyvalent : Que votre procédé nécessite un vide poussé ou un flux de gaz ultra-pur, la conception spécialisée de la bride et le positionnement du bloc thermique garantissent des résultats constants et protègent les composants internes du four.
  • Fiabilité et support éprouvés : Avec la certification CE standard et la conformité NRTL/CSA en option, ce système est une plateforme reconnue mondialement pour la synthèse de matériaux, soutenue par une assistance technique complète et des consommables de rechange disponibles.

Pour plus d’informations sur le TU-65 ou pour demander une configuration de zone de chauffage personnalisée pour vos besoins spécifiques de R&D, veuillez contacter dès aujourd’hui notre équipe commerciale technique pour obtenir un devis formel.

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