Four tubulaire
Four tubulaire à trois zones 1200°C, diamètre extérieur max 6 pouces, avec tube et bride
Numéro d'article: TU-37
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Présentation du produit
Ce système de traitement thermique haute performance est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la recherche en science des matériaux et de la production industrielle. Doté d'une configuration de chauffage à trois zones et d'une capacité généreuse de 150 mm (6") de diamètre extérieur, l'équipement offre une plateforme polyvalente pour le traitement d'échantillons à grande échelle, y compris le recuit de plaquettes de 4 pouces. En utilisant trois zones de chauffage contrôlées indépendamment, les utilisateurs peuvent obtenir une uniformité de température exceptionnelle ou créer des gradients thermiques précis, faisant de cet appareil un outil indispensable pour les cycles de traitement thermique complexes nécessitant un contrôle strict de l'atmosphère et une stabilité thermique.
Le système est conçu pour un large éventail d'applications dans les industries des semi-conducteurs, de l'aérospatiale et des céramiques avancées. Qu'il soit utilisé pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le frittage de matériaux de haute pureté ou l'oxydation contrôlée de composants métalliques, l'équipement fournit des résultats répétables et fiables. Sa construction robuste et son interface de contrôle sophistiquée permettent une intégration transparente dans les laboratoires de R&D et les lignes de production pilotes où la précision et l'évolutivité sont primordiales pour développer la prochaine génération de matériaux haute température.
Construit avec à l'esprit une fiabilité opérationnelle à long terme, ce four utilise une isolation de qualité supérieure et une gestion de puissance avancée pour maintenir des performances constantes dans des conditions exigeantes. L'intégration d'une isolation fibreuse en alumine de haute pureté assure une efficacité thermique tout en minimisant les pertes de chaleur, ce qui donne un système à la fois économe en énergie et très réactif aux ajustements de température. Les responsables de laboratoire et les équipes d'approvisionnement peuvent compter sur cet équipement pour fournir un environnement thermique stable, garantissant que les expériences critiques et les lots de production sont protégés contre les fluctuations thermiques et la contamination.
Caractéristiques principales
- Contrôle indépendant à trois zones : Le système dispose de trois zones de chauffage distinctes qui permettent de créer une zone de température uniforme étendue ou un gradient thermique personnalisé. Cette configuration est essentielle pour les processus nécessitant des profils de température spécifiques sur toute la longueur du tube de traitement, tels que la croissance cristalline ou le recuit de grands lots.
- Interface écran tactile avancée : Un écran tactile haute résolution de 7 pouces fournit un hub de contrôle intuitif pour l'ensemble du système. Les utilisateurs bénéficient d'une fonctionnalité de démarrage/arrêt en un clic, d'une surveillance des données en temps réel et de la possibilité de pré-enregistrer plusieurs programmes de température complexes, réduisant considérablement le risque d'erreurs de configuration manuelle.
- Régulation de température PID de précision : Équipé d'un contrôleur PID sophistiqué et de fonctions d'auto-ajustement, l'unité maintient une précision de température de +/- 0,2 °C. Ce niveau de précision est critique pour le traitement de matériaux sensibles où même des écarts mineurs peuvent affecter l'intégrité structurelle ou les propriétés électriques de l'échantillon.
- Isolation fibreuse en Al2O3 de haute pureté : La chambre du four est revêtue d'une isolation fibreuse en alumine de haute pureté économe en énergie, renforcée par un revêtement en oxyde d'aluminium. Cette combinaison prolonge non seulement la durée de vie des éléments chauffants, mais assure également des vitesses de chauffage rapides et un confinement thermique supérieur.
- Capacité de traitement de grand diamètre : Conçu pour accueillir des tubes en quartz jusqu'à 150 mm (6") de diamètre, ce système est idéal pour le traitement de plaquettes de 4 pouces et d'échantillons de matériaux en vrac plus volumineux. La flexibilité d'utiliser divers diamètres de tube (80 mm à 150 mm) via des adaptateurs en fait un atout hautement adaptable aux besoins de recherche en évolution.
- Enregistrement complet des données : Le système de contrôle intégré enregistre automatiquement les données de processus, stockant l'historique jusqu'à un mois. Cette fonctionnalité facilite l'analyse post-processus approfondie et la documentation du contrôle qualité, ce qui est vital pour les certifications industrielles et la reproductibilité de la recherche.
- Étanchéité robuste sous vide et atmosphère : Des brides d'étanchéité en acier inoxydable de haute qualité sont disponibles pour prendre en charge le traitement sous vide ou dans des environnements gazeux contrôlés. Cela permet à l'équipement de gérer diverses chimies et d'empêcher l'oxydation pendant les cycles à haute température.
- Ingénierie axée sur la sécurité : Des mécanismes de protection intégrés contre la surchauffe et la défaillance des thermocouples sont fournis en standard, offrant une tranquillité d'esprit lors des cycles de longue durée. La conception du système met l'accent sur un fonctionnement sûr avec des protocoles spécifiques pour la gestion de la pression et la régulation du débit de gaz.
- Performance d'isolation du tube solide : La conception de l'isolation du tube solide offre une zone de température plus uniforme par rapport aux conceptions standard à tube divisé, garantissant que la chaleur rayonnante est répartie uniformément sur toute la circonférence du tube de traitement.
- Flexibilité des segments programmables : Avec 50 segments programmables, le système prend en charge des rampes de chauffage et de refroidissement très complexes. Cela permet une simulation précise des cycles thermiques industriels et la capacité d'effectuer un refroidissement lent et contrôlé pour éviter les chocs thermiques dans les matériaux fragiles.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de semi-conducteurs | Traitement à haute température de plaquettes de silicium de 4 pouces pour réparer les dommages du réseau ou activer les dopants. | Une uniformité supérieure empêche le gauchissement des plaquettes et garantit des propriétés électriques constantes. |
| Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) | Utilisation du contrôle à trois zones pour créer un gradient de température pour le transport des précurseurs et le dépôt de film. | Un environnement de haute pureté et un contrôle précis du débit conduisent à une croissance de film mince de haute qualité. |
| Synthèse de matériaux | Traitement de céramiques et poudres avancées à des températures allant jusqu'à 1200°C dans des conditions inertes ou sous vide. | Le contrôle multi-zone permet une transformation de phase précise et une gestion de la croissance des grains. |
| Test de composants aérospatiaux | Cyclage thermique de petits composants de turbine ou de revêtements de barrière thermique dans des conditions atmosphériques simulées. | Tests de contrainte thermique fiables et répétables pour des composants à haute fiabilité. |
| Production de nanotubes de carbone | Contrôle précis de la température et du débit de gaz pour la croissance de nanotubes de carbone sur divers substrats. | Le chauffage spécifique à la zone optimise la réaction catalytique et augmente le rendement. |
| Calcination et frittage | Traitement à haute température de minéraux ou de corps céramiques crus pour éliminer les volatils et densifier le matériau. | Le grand diamètre du tube permet un traitement à haut débit pour la production à l'échelle pilote. |
| Recherche sur les matériaux de batterie | Traitement thermique des matériaux de cathode et d'anode dans une atmosphère contrôlée pour optimiser les performances électrochimiques. | La précision de +/- 0,2°C garantit la précision stoechiométrique du produit final. |
| Brasage sous vide | Assemblage de composants métalliques ou céramiques dans un environnement sous vide sans contamination. | La compatibilité avec le vide poussé empêche l'oxydation et garantit des joints solides et propres. |
Spécifications techniques
| Paramètre | Spécifications pour TU-37 |
|---|---|
| Identifiant du modèle | Série TU-37 |
| Température maximale | 1200 °C (< 30 minutes) |
| Température de travail continue | 1100 °C |
| Vitesse de chauffage | Maximum 10 °C / minute |
| Configuration de la zone de chauffage | 3 zones : Zone 1 (152,5 mm), Zone 2 (315 mm), Zone 3 (152,5 mm) |
| Longueur totale de la zone de chauffage | 700 mm |
| Zone de température constante (±2°C) | ~ 420 mm (lorsque toutes les zones sont réglées sur la même température) |
| Zone de température constante (±5°C) | ~ 620 mm (lorsque toutes les zones sont réglées sur la même température) |
| Précision de la température | ± 0,2 °C |
| Type de contrôleur | Panneau PID à écran tactile 7", 50 segments programmables |
| Type de thermocouple | Type K |
| Diamètre du tube de traitement | Optionnel : 80, 100, 130, 150 mm OD |
| Capacité de vide | 50 m-torr (pompe mécanique) / 10^-6 torr (turbopompe) |
| Matériau d'isolation | Isolation fibreuse en Al2O3 de haute pureté avec revêtement en oxyde |
| Alimentation | AC 220V, 50/60 Hz, monophasé |
| Puissance totale | 12 kW |
| Support d'atmosphère | Brides en acier inoxydable scellées sous vide avec entrée/sortie de gaz |
| Exportation de données | Enregistrement automatique (stockage 1 mois) / Logiciel PC optionnel |
Pourquoi choisir le TU-37
- Précision thermique inégalée : La série TU-37 exploite une architecture sophistiquée à 3 zones qui élimine la chute thermique typique des systèmes à zone unique, offrant une zone uniforme massive de 420 mm pour les processus industriels critiques.
- Qualité de construction de qualité industrielle : De l'isolation fibreuse en Al2O3 de haute pureté aux brides en acier inoxydable robustes, chaque composant du système est sélectionné pour sa capacité à résister à un fonctionnement continu dans des environnements de R&D exigeants.
- Capacité de traitement évolutive : La capacité unique d'accueillir des tubes de 6 pouces (150 mm) permet aux chercheurs de passer en douceur des tests à petite échelle à la production de plaquettes de 4 pouces sans changer de plateforme d'équipement.
- Contrôle numérique centré sur l'utilisateur : L'interface à écran tactile et l'enregistrement automatique des données réduisent la courbe d'apprentissage opérationnelle tout en garantissant que tous les paramètres de processus sont méticuleusement documentés pour la conformité et l'assurance qualité.
- Flexibilité atmosphérique polyvalente : Que votre processus nécessite un vide poussé, un flux de gaz inerte ou une gestion de pression spécifique, les options de bride et de pompage adaptables du système offrent une solution pérenne pour divers parcours de recherche.
Notre équipe d'ingénieurs est prête à vous aider à configurer la solution de traitement thermique idéale pour vos besoins spécifiques. Contactez-nous dès aujourd'hui pour une consultation technique ou un devis formel sur le système TU-37.
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