Four RTP
Four tubulaire coulissant haute température 1200°C de 5 pouces pour le traitement thermique rapide (RTP) et le recuit de plaquettes
Numéro d'article: TU-KT09
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Présentation du produit
Ce système de traitement thermique haute performance est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la science des matériaux moderne et de la recherche sur les semi-conducteurs. En utilisant un mécanisme coulissant sophistiqué, l'équipement permet des cycles de chauffage et de refroidissement rapides inaccessibles dans les fours tubulaires stationnaires. Cette capacité est essentielle pour les chercheurs effectuant des traitements thermiques rapides (RTP), où un contrôle précis de la cinétique thermique détermine la structure cristalline et les propriétés électriques de l'échantillon. La valeur fondamentale de l'unité réside dans sa capacité à transférer instantanément les échantillons entre les zones de température, offrant une plateforme polyvalente pour l'expérimentation à haut débit et le développement avancé de couches minces.
Conçu pour la polyvalence et la précision, ce système est une pierre angulaire pour les laboratoires spécialisés dans le recuit de plaquettes de semi-conducteurs, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et les études de transformation de phase métallurgique. L'intégration d'un tube en quartz de grand diamètre permet le traitement de plaquettes jusqu'à 4 pouces de diamètre, ce qui en fait un choix idéal tant pour la recherche académique fondamentale que pour la R&D industrielle. La construction robuste garantit que l'unité peut résister à des cycles thermiques rapides répétés sans compromettre l'intégrité structurelle ou l'uniformité de la température, offrant aux chercheurs la cohérence nécessaire pour des résultats reproductibles dans des environnements industriels exigeants.
La fiabilité est au cœur de la conception de cet équipement. Doté d'un boîtier en acier à double paroi et d'une technologie de refroidissement par air intégrée, le système maintient une température extérieure sûre même lors d'un fonctionnement prolongé à 1200°C. L'unité de contrôle séparée permet une opération à distance, protégeant l'électronique sensible de la chaleur et offrant un environnement de travail plus sûr pour le personnel de laboratoire. Qu'il soit utilisé pour le recuit de métaux réactifs ou le frittage de céramiques haute densité, ce système offre les performances, la durabilité et les caractéristiques de sécurité nécessaires aux processus de traitement thermique industriels et de laboratoire à enjeux élevés.
Caractéristiques principales
- Gestion cinétique thermique rapide : Le moteur électrique coulissant intégré permet au four de se déplacer le long du tube en quartz à des vitesses variables, permettant des taux de chauffage allant jusqu'à 2°C/s et des taux de trempe/refroidissement allant jusqu'à 4°C/s en éloignant la zone chauffée de l'échantillon.
- Système de contrôle PID double avancé : Équipée de deux contrôleurs automatiques PID indépendants avec 30 segments programmables, l'unité offre un contrôle méticuleux des taux de chauffage, des temps de maintien et des courbes de refroidissement avec une précision de ±1°C.
- Environnement de traitement haute capacité : Le tube en quartz haute pureté de 5 pouces peut accueillir des échantillons et des plaquettes jusqu'à 100 mm (4 pouces) de diamètre, soutenus par une nacelle en quartz spécialisée pour un positionnement stable du matériau pendant le transit.
- Architecture robuste pour vide et atmosphère : Les brides à vide en acier inoxydable avec doubles joints toriques en silicone et jauges numériques facilitent les environnements à haut vide jusqu'à 10^-5 torr, prenant en charge les processus nécessitant des atmosphères inertes, réductrices ou sous vide.
- Isolation thermique et sécurité supérieures : Un boîtier en acier à double couche avec refroidissement par ventilateur actif garantit que la coque externe reste en dessous de 60°C, tandis que les systèmes intégrés de protection contre la surchauffe et la rupture de thermocouple protègent l'équipement et l'opérateur.
- Éléments chauffants de précision : Les éléments chauffants à résistance sont stratégiquement positionnés pour fournir une zone de chauffage de 300 mm avec une zone à température constante de 100 mm, assurant une distribution thermique uniforme sur la pièce.
- Connectivité numérique et surveillance à distance : Un module de contrôle MTS-02 inclus et un port RS485 permettent une opération complète sur PC, permettant aux chercheurs d'enregistrer des données, de surveiller les cycles en temps réel et d'automatiser des profils thermiques complexes.
- Rails coulissants de qualité industrielle : L'unité se déplace sur des rails en acier chromé robustes, assurant un mouvement fluide et sans vibration qui protège les échantillons délicats pendant les phases de transition rapide.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de semi-conducteurs | Traitement thermique rapide de plaquettes de silicium ou de semi-conducteurs composés jusqu'à 4 pouces. | Minimise la diffusion des dopants tout en activant efficacement les implants ioniques. |
| Croissance de graphène et nanotubes (CNT) | Synthèse haute température de nanotubes de carbone et de graphène via des processus CVD. | Un contrôle précis du refroidissement permet une meilleure gestion des couches de dépôt de carbone. |
| Métallurgie réactive | Traitement thermique du titane, du zirconium ou du tantale sous vide poussé ou gaz inerte. | Empêche l'oxydation et la contamination tout en atteignant des transformations de phase spécifiques. |
| Dépôt de couches minces | Recuit de couches minces pour améliorer la cristallinité et la conductivité électrique. | Les gradients thermiques élevés permettent la création de phases métastables uniques. |
| Frittage de céramiques | Frittage de poudres céramiques avancées à des températures allant jusqu'à 1200°C. | Le chauffage uniforme à 360 degrés garantit des résultats haute densité avec un gauchissement minimal. |
| Études de trempe | Refroidissement rapide d'alliages métalliques pour observer les changements structurels à température ambiante. | Le mécanisme coulissant automatisé fournit des taux de trempe cohérents et reproductibles. |
| Transformation de phase | Étude du comportement des matériaux lors de leur passage par des points de température critiques. | L'enregistrement de données à haute vitesse et la rampe de température précise facilitent une analyse détaillée. |
Spécifications techniques
| Groupe de paramètres | Détail de la spécification | Valeur pour TU-KT09 |
|---|---|---|
| Numéro de modèle | Identifiant du produit | TU-KT09 |
| Dimensions principales | Taille du tube en quartz | 130 mm D.E. x 120 mm D.I. x 1100 mm L (5") |
| Zone de chauffage | 300 mm au total / 100 mm zone constante | |
| Taille max. de plaquette | 4 pouces (100 mm) de diamètre | |
| Performance | Température max. | 1200°C (< 0,5 heure) |
| Température de travail continue | 1100°C | |
| Précision de la température | +/- 1ºC | |
| Taux de chauffage max. | 2ºC / seconde (via coulissement) | |
| Taux de refroidissement max. | 4ºC / seconde (via coulissement) | |
| Contrôle de mouvement | Longueur du rail coulissant | 1200 mm (acier chromé) |
| Plage de coulissement | 450 mm | |
| Entraînement coulissant | Moteur CC contrôlé via programmateur de température (en option) | |
| Électronique | Exigences d'alimentation | CA 208-240V monophasé, 50/60 Hz |
| Puissance nominale | 3 KW | |
| Type de contrôleur | Double PID avec 30 segments programmables | |
| Communications | Port RS485 / Module de contrôle PC MTS-02 | |
| Système à vide | Matériau de la bride | Acier inoxydable avec doubles joints toriques |
| Niveau de vide (pompe méca) | 10^-2 Torr | |
| Niveau de vide (moléculaire) | 10^-5 Torr | |
| Ports de gaz | Entrée Φ6.35, Sortie KF25, doubles vannes d'arrêt | |
| Sécurité et conformité | Température de la coque | ≤ 60°C (double boîtier refroidi par air) |
| Protection | Coupure automatique en cas de surchauffe et de défaillance du thermocouple | |
| Certifications | Certifié CE (NRTL/UL disponible sur demande) |
Pourquoi choisir ce four tubulaire coulissant
- Agilité thermique inégalée : Contrairement aux fours standard, cette unité offre des taux de chauffage et de refroidissement leaders de l'industrie grâce à son mécanisme coulissant conçu avec précision, réduisant considérablement les temps de cycle et permettant des propriétés de matériaux uniques.
- Précision de qualité recherche : Avec des doubles contrôleurs PID et une acquisition de données sur PC, les chercheurs peuvent garder un contrôle total sur chaque variable thermique, garantissant que les conditions expérimentales sont exactement reproductibles sur des centaines d'essais.
- Qualité de construction industrielle : Des rails coulissants chromés au boîtier en acier à double couche, chaque composant est sélectionné pour sa capacité à fonctionner dans des environnements à cycle de service élevé sans dégradation.
- Intégration complète du vide : L'inclusion de brides en acier inoxydable de haute qualité et de jauges à vide numériques garantit que le système est prêt pour les processus sensibles sous atmosphère contrôlée dès sa sortie de l'emballage.
- Adaptable pour l'avenir : Avec des entraînements coulissants automatiques en option et des configurations logicielles personnalisées, cet équipement est conçu pour évoluer avec vos besoins de recherche, représentant un investissement solide à long terme.
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