Four à atmosphère
Four de nettoyage élevé à hydrogène 1200C max à 6 canaux pour recuit à haut débit
Numéro d'article: TU-QF25
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Présentation du produit
Ce système de traitement thermique multicanal haute performance est conçu pour les applications avancées de science des matériaux et de R&D industrielle nécessitant une pureté extrême et des capacités à haut débit. En intégrant six canaux de chauffage indépendants dans une chambre spécialisée à très haute propreté, l’équipement permet aux chercheurs et ingénieurs d’effectuer plusieurs cycles de traitement thermique simultanés selon des paramètres variables. Cette configuration accélère considérablement les flux de travail expérimentaux tout en maintenant un environnement contrôlé adapté aux matériaux les plus sensibles, notamment les semi-conducteurs, les alliages avancés et les céramiques de haute pureté.
Conçu spécifiquement pour une utilisation en environnement de salle blanche, le système atteint un niveau de propreté conforme à la norme US FED STD 209E Classe 100. L’architecture interne utilise une isolation et des traitements de surface haut de gamme afin de prévenir la contamination particulaire, ce qui en fait la solution idéale pour le recuit de wafers semi-conducteurs, la recherche sur le dépôt de couches minces et le frittage de haute pureté. Cette unité excelle dans les procédés à atmosphère contrôlée, offrant une compatibilité robuste avec les environnements à hydrogène, sous vide et sous gaz inerte, garantissant des performances polyvalentes pour des procédés complexes de métallurgie et de synthèse chimique.
Conçu pour une fiabilité à long terme dans des environnements industriels et académiques exigeants, l’équipement est doté d’une chambre en acier inoxydable robuste et de protocoles de sécurité avancés. L’intégration de mécanismes de sécurité spécialisés pour l’hydrogène et d’une automatisation précise permet un fonctionnement continu et sans surveillance en toute confiance. Qu’il soit déployé dans des laboratoires universitaires ou sur des lignes pilotes d’entreprise, ce système représente un investissement haut de gamme dans la précision du traitement thermique, offrant des résultats constants et reproductibles sur chaque canal.
Caractéristiques principales
- Six canaux de chauffage indépendants : Chaque canal est équipé de son propre système dédié de contrôle de température et d’infrastructure d’alimentation en gaz, permettant le traitement simultané de six échantillons distincts à différentes températures et dans différentes conditions atmosphériques.
- Certification de propreté Classe 100 : La chambre en fibre d’alumine de haute pureté est dotée d’une surface spécialisée revêtue d’alumine, conçue pour minimiser la génération de poussière et le dégazage, garantissant un environnement interne conforme aux normes US FED STD 209E Classe 100.
- Système avancé de sécurité à l’hydrogène : Pour prévenir les risques d’explosion, l’équipement utilise un système de circulation de gaz inerte dans la couche d’isolation entre le tube et la chambre. En cas de défaillance du tube, l’hydrogène est confiné en toute sécurité et dilué dans cette couche intermédiaire protectrice.
- PID de précision et intégration PC : Chaque module de chauffage est géré par un contrôleur intelligent programmable à 50 segments, entièrement intégré à un logiciel sur PC pour la surveillance en temps réel, l’enregistrement des données et le contrôle automatisé complet des cycles de chauffage, de palier et de refroidissement.
- Chambre en fibre d’alumine de haute pureté : La chambre est fabriquée en fibre céramique formée sous vide afin d’offrir une isolation thermique supérieure et un rendement de chauffage élevé, tout en prolongeant considérablement la durée de vie des composants internes.
- Enveloppe à double couche refroidie par air : La structure externe adopte une conception à double couche avec refroidissement par air forcé intégré, garantissant que les surfaces externes restent sûres au toucher même pendant un fonctionnement prolongé à température interne maximale.
- Gestion automatisée du gaz et de la pression : Le mode de frittage à pression constante piloté par logiciel ajuste automatiquement les débits de gaz afin de maintenir une pression stable, légèrement positive, assurant une densité atmosphérique constante tout au long du traitement thermique.
- Brides indépendantes refroidies par eau : Six ensembles de brides en acier inoxydable 304 avec ports de refroidissement à eau intégrés protègent les joints toriques, garantissant une intégrité du vide à long terme et une stabilité haute pression pendant les cycles intensifs à haute température.
- Options de tubes personnalisables : Bien que des tubes en quartz de haute pureté soient fournis en standard, le système prend en charge des tubes en alliage à base de nickel ou en alliage de zirconium pour répondre à des environnements corrosifs spécialisés ou à des exigences de température spécifiques jusqu’à 1200°C.
- Documentation complète des données : Toutes les données du processus expérimental, y compris les courbes de température, les niveaux de pression et l’état du vide, sont enregistrées et peuvent être exportées pour une analyse approfondie et une vérification du contrôle qualité.
Applications
| Application | Description | Avantage clé |
|---|---|---|
| Recuit de semi-conducteurs | Traitement thermique de haute pureté de wafers en silicium et en semi-conducteurs composés en conditions de salle blanche. | Réduit au minimum la contamination particulaire et assure une récupération cristalline uniforme. |
| Réduction sous hydrogène | Réduction d’oxydes métalliques en poudres métalliques pures ou en couches minces à l’aide d’une atmosphère d’hydrogène contrôlée. | Traitement à haut débit avec protocoles de sécurité intégrés pour les gaz explosifs. |
| Métallurgie avancée | Frittage et traitement thermique d’alliages à haute température et de métaux non ferreux à différentes étapes. | Les canaux indépendants permettent des études comparatives rapides des matériaux. |
| R&D sur couches minces | Traitement thermique de couches minces fonctionnelles sur substrats en céramique ou en verre sous vide ou en gaz inerte. | Empêche l’oxydation et assure un contrôle précis de la microstructure du film. |
| Essais de matériaux nucléaires | Analyse à haute température de matériaux spécialisés sous atmosphères simulant les conditions de fonctionnement. | Confinement robuste et enregistrement fiable des données pour les recherches sensibles. |
| Frittage de céramiques | Frittage de céramiques techniques avancées, y compris les matériaux dentaires et les composants structurels. | Uniformité de température exceptionnelle sur les six zones d’échantillons. |
| Tests de contrôle qualité industriels | Essais par lots d’échantillons de matériaux pour vérifier la stabilité thermique et la résistance chimique sur plusieurs lots de production. | Augmente la productivité du laboratoire en exécutant simultanément plusieurs profils de test. |
Spécifications techniques
| Catégorie | Paramètre | Spécification (TU-QF25) |
|---|---|---|
| Identification du modèle | Numéro d’article du produit | TU-QF25 |
| Alimentation électrique | Puissance d’entrée | CA triphasé 380V ; 50/60Hz |
| Puissance maximale | 48 KW | |
| Performances thermiques | Température de fonctionnement max. | 1200℃ (≤ 30 min) |
| Température continue | 1100℃ | |
| Vitesse de chauffe | ≤ 10℃/min | |
| Longueur de la zone de chauffe | 700 mm | |
| Précision de température | ± 1℃ (contrôleurs européens en option ± 0,1℃) | |
| Système de contrôle | Modèle du contrôleur | Contrôleur intelligent PID 858P |
| Programmation | Contrôle programmable en 50 segments | |
| Interface de contrôle | Port de communication PC DB9 avec logiciel spécialisé | |
| Modes de contrôle | Mode de purge automatique ; mode de frittage à pression constante | |
| Construction | Matériau de la chambre | Fibre d’alumine de haute pureté avec revêtement de surface |
| Éléments chauffants | Molybdène, fer, chrome, aluminium | |
| Thermocouple | Type K | |
| Niveau de propreté | US FED STD 209E Classe 100 | |
| Gaz & vide | Type de bride | Brides en acier inoxydable 304 refroidies par eau (KF60/KF25) |
| Contrôle du débit de gaz | 6 débitmètres à flotteur indépendants (40-400 ml/min) | |
| Décharge mécanique standard | S’ouvre à 0,04 MPa | |
| Plage de pression de frittage | 100 000 Pa - 115 000 Pa (régulation automatique) | |
| Spécifications des tubes | Tailles standard en quartz | Φ25x19 ID, Φ50x44 ID, Φ60x55 ID (Longueur : 1200 mm) |
| Tubes en alliage en option | Alliage à base de nickel (1200℃) / alliage de zirconium (800℃) | |
| Accessoires en option | Traitement des gaz combustibles | 200W, CA220V, avec protection par transformateur de courant |
| Détection d’hydrogène | Fixe ou portable (plage 1-1000 ppm) | |
| Pompes à vide | Mécanique (10^-2 Torr) ou moléculaire (10^-5 Torr) | |
| Groupe refroidisseur | CW-6300 (capacité de refroidissement 26826 Btu/h) |
Pourquoi choisir le four à hydrogène 1200C max à 6 canaux à très haute propreté pour recuit à haut débit
- Débit et polyvalence inégalés : Ce système effectue efficacement le travail de six fours distincts, permettant une montée en échelle massive des efforts de R&D sans augmenter l’encombrement de l’équipement ni la consommation énergétique.
- Compatibilité supérieure avec les salles blanches : Conçu pour des environnements de haute pureté, le système garantit que les échantillons restent exempts de contaminants, une exigence essentielle pour la recherche moderne sur les semi-conducteurs et les nanotechnologies.
- Conception axée sur la sécurité : Avec des couches intermédiaires de gaz inerte intégrées et des dispositifs optionnels de traitement des gaz combustibles, cet équipement établit la norme industrielle pour le traitement thermique sous atmosphère d’hydrogène en toute sécurité.
- Automatisation de précision et intégrité des données : L’interface logicielle avancée automatise non seulement des routines complexes de purge des gaz et de frittage, mais garantit aussi la capture de chaque point de données pour la conformité réglementaire et la validation scientifique.
- Personnalisable et prêt pour l’avenir : Des différents matériaux de tubes à l’intégration de pompes moléculaires avancées, le système peut être adapté à vos besoins actuels de recherche et mis à niveau à mesure que vos exigences de traitement évoluent.
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